[发明专利]P型PERC双面太阳能电池背面图形对位印刷方法、制备方法及电池

权利要求书

1.一种P型PERC双面太阳能电池背面图形对位印刷方法，其特征在于：在硅片上制作背面激光开槽区、背极主栅线和背铝栅线的工序中，先在背激光开槽图案上设置Mark点，并在硅片上制作带有Mark点的背面激光开槽区，再利用硅片上的Mark点识别背铝栅线的印刷位置，移动硅片以调整背极主栅线的印刷位置，使后续印刷在该位置的背极主栅线可与背铝栅线连接，最后印刷背极主栅线和背铝栅线，背铝栅线覆盖住背面激光开槽区，且与背极主栅线连接。

2.根据权利要求1所述的P型PERC双面太阳能电池背面图形对位印刷方法，其特征在于：采用在背极主栅线印刷设备上增设对位校准装置，通过该对位校准装置抓取Mark点，定位Mark点与背激光开槽图案的相对位置，从而识别背铝栅线的印刷位置。

3.根据权利要求1或2所述的P型PERC双面太阳能电池背面图形对位印刷方法，其特征在于：先印刷背极主栅线，再印刷背铝栅线；或先印刷背铝栅线，再印刷背极主栅线。

4.一种P型PERC双面太阳能电池制备方法，使用权利要求1所述的P型PERC双面太阳能电池背面图形对位印刷方法。

5.一种使用权利要求1所述P型PERC双面太阳能电池背面图形对位印刷方法的P型PERC双面太阳能电池制备方法，其特征在于包括以下步骤：

⑴在P型硅的正面形成绒面；

⑵在由步骤⑴所得产品的正面进行扩散，形成N型发射极；

⑶利用扩散后的磷硅玻璃为磷源，在由步骤⑵所得产品的正面进行激光掺杂，形成正面激光开槽区；

⑷去除由步骤⑶所得产品在扩散过程形成的磷硅玻璃和周边PN结；

⑸对步骤⑷所得产品进行退火处理；

⑹在由步骤⑸所得产品的背面依次沉积氧化铝膜和背面氮化硅膜，再在正面沉积正面氮化硅膜，或者在由步骤⑸所得产品的正面沉积正面氮化硅膜，再在背面依次沉积氧化铝膜和背面氮化硅膜；

⑺在背激光开槽图案上设置Mark点，在由步骤⑹所得产品上制作带有Mark点的背面激光开槽区；

⑻利用Mark点识别背铝栅线的印刷位置，移动由步骤⑺所得产品以调整背极主栅线的印刷位置，使后续印刷在该位置的背极主栅线可与背铝栅线连接，在由步骤⑺所得产品的背面上印刷背极主栅线和背铝栅线，背铝栅线覆盖住背面激光开槽区，并与背极主栅线连接；

⑼在由步骤⑻所得产品的正面激光开槽区上印刷正电极浆料，正电极浆料覆盖住正面激光开槽区；

⑽将由步骤⑼所得产品进行高温烧结，形成背面电极和正面电极；

⑾对由步骤⑽所得产品抗LID退火即得。

6.一种使用权利要求4或5所述P型PERC双面太阳能电池制备方法制备的P型PERC双面太阳能电池。

7.一种使用权利要求4或5所述P型PERC双面太阳能电池制备方法制备的P型PERC双面太阳能电池，包括从下至上依次设置的背电极、背面氮化硅膜、氧化铝膜、P型硅、N型发射极、正面氮化硅膜和正银电极，所述背电极主要由呈垂直相交的背极主栅线和背铝栅线相连而成，在所述背面氮化硅膜上开有数条贯通背面氮化硅膜和氧化铝膜的开槽构成背面激光开槽区，所述P型硅露于所述开槽中，所述背铝栅线位于开槽中的部分与P型硅相连，其特征在于：通过在背激光开槽图案上设置Mark点，并制作带有Mark点的背面激光开槽区，利用Mark点识别背铝栅线的印刷位置，移动硅片以调整背极主栅线的印刷位置，使后续印刷在该位置的背极主栅线可与背铝栅线连接，印刷背极主栅线和背铝栅线之后，背铝栅线覆盖住背面激光开槽区，且与背极主栅线连接。

8.根据权利要求7所述的P型PERC双面太阳能电池，其特征在于：Mark点设置在背面氮化硅膜上，所述Mark点和背面激光开槽区的相对位置预先设定，通过定位Mark点并根据背面激光开槽区与Mark点之间的相对位置进行背面激光开槽区和背铝栅线的对位。

9.根据权利要求8所述的P型PERC双面太阳能电池，其特征在于：所述Mark点为四个，分别位于太阳能电池的四个边角。

10.根据权利要求9所述的P型PERC双面太阳能电池，其特征在于：单个Mark点的形状为十字形、三角形、圆形、方形、五边形或六边形。