[发明专利]小视场紫外物镜光学系统、紫外物镜、紫外探测器在审
| 申请号： | 201910005143.4 | 申请日： | 2019-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN109633872A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 吴鸿春;戴殊韬;翁文;苏毅聪;江涛;吴丽霞;张志;黄见洪;林文雄;史斐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | G02B13/14 | 分类号： | G02B13/14;G02B15/14 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 胡璇 |
| 地址： | 350002 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学系统 紫外物镜 镜片群 正透镜 紫外探测器 负透镜 小视场 光轴 物侧 像侧 正光焦度 高分辨率 共轭成像 紫外波段 大孔径 光栏 申请 | ||
1.一种小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，沿光轴从物侧到像侧依次包括：具有正光焦度的第一镜片群和具有正光焦度的第二镜片群，
沿光轴从物侧到像侧所述第一镜片群依次包括：第一正透镜、第一负透镜、第二正透镜、光栏、第三正透镜和第二负透镜；
沿光轴从物侧到像侧所述第二镜片群依次包括：第四正透镜和第三负透镜。
2.根据权利要求1所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，调焦过程中，所述第二镜片群在所述第一镜片群和像面之间移动。
3.根据权利要求1所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，所述第一镜片群的焦距f1，所述第二镜片群的焦距为f2，满足：0.12≤|f2/f1|≤0.45。
4.根据权利要求1所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，所述第一镜片群中各透镜光学材料选自融石英和/或氟化物；
所述第二镜片群中各透镜光学材料选自融石英和/或氟化物。
5.根据权利要求1所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，所述第一镜片群中各透镜为球面透镜；
所述第二镜片群中各透镜为球面透镜。
6.根据权利要求1所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，所述小视场紫外物镜光学系统的相对孔径值为F1.8～4.0。
7.根据权利要求1所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，所述第一正透镜与所述第一负透镜的间隔为0.1～0.2f；
所述第一负透镜与所述第二正透镜的间隔为0.0005～0.0006f；
所述第二正透镜与所述光栏的间隔为0.5～0.6f；
所述第三正透镜和所述第二负透镜的间隔为0.0005～0.0006f；
沿光轴从物侧到像侧所述第二镜片群依次包括：所述第四正透镜和所述第三负透镜的间隔为0.01f，其中f为所述小视场紫外物镜光学系统的焦距。
8.根据权利要求7所述的小视场紫外物镜光学系统，其特征在于，所述第一正透镜与所述第一负透镜的间隔为0.225f；
所述第一负透镜与所述第二正透镜的间隔为0.0005f；
所述第二正透镜与所述光栏的间隔为0.5f；
所述第三正透镜和所述第二负透镜的间隔为0.0005f；
沿光轴从物侧到像侧所述第二镜片群依次包括：所述第四正透镜和所述第三负透镜的间隔为0.01f，其中f为所述小视场紫外物镜光学系统的焦距。
9.一种紫外物镜，其特征在于，包括如权利要求1～8中任一项所述的小视场紫外物镜光学系统。
10.一种紫外探测器，其特征在于，包括如权利要求9所述的小视场紫外物镜。
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