[发明专利]一种测试探针装置有效
| 申请号: | 201910002608.0 | 申请日: | 2019-01-02 |
| 公开(公告)号: | CN109738677B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
| 发明(设计)人: | 王庆贺;王东方;苏同上;汪军;丁录科;闫梁臣 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;B24B49/02;B24B49/00;B24B41/047;B23K26/38;B21F11/00;B26D1/14;B26D1/00 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
| 地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 测试 探针 装置 | ||
本发明涉及显示设备技术领域,公开了一种测试探针装置,该测试探针装置包括支架、可升降安装于支架的支撑件、驱动支撑件相对于支架动作的第一驱动装置、安装于支撑件的测试组件,其中,测试组件包括:安装板;安装于安装板的切割单元、吸盘单元、研磨单元、辅助探针单元和测试探针单元;用于驱动切割单元、吸盘单元、研磨单元、辅助探针单元、测试探针单元动作的第二驱动装置,以驱动切割单元、吸盘单元、研磨单元、辅助探针单元、测试探针单元在测试工位和非测试工位之间切换。该测试探针装置实现了对显示面板有效显示区的检测,节省了测试工序和测试时间,且节省了成本。
技术领域
本发明涉及显示设备技术领域,特别涉及一种测试探针装置。
背景技术
在显示产品开发的过程中,往往要测试显示面板有效显示区的特性来解析不良,以及分析有效显示区与电性测试区的差异,但是有效显示区的测试在实际中是相对较麻烦的测试,需要复杂的制样,且需要较新的探针去测试,且损害探针的程度较大,测试样品需花费较大的人力物力,且实际开发产品中,每道工序需要根据检测到的有效显示区的特性来研究不同工序,操作繁琐。
发明内容
本发明提供了一种测试探针装置,上述测试探针装置实现了对显示面板有效显示区的检测,节省了测试工序和测试时间,且节省了成本。
为达到上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种测试探针装置,用于对显示面板的有效显示区进行切片测试来分析真正有效显示区的薄膜晶体管特性,包括支架、可升降安装于所述支架的支撑件、驱动所述支撑件相对于所述支架动作的第一驱动装置、安装于所述支撑件的测试组件,其中,所述测试组件包括:
安装板;
安装于所述安装板且可相对于所述支撑件动作、且位于测试工位时用于对有效显示区进行切割的切割单元;
安装于所述安装板且可相对于所述支撑件动作、且位于测试工位时用于对切割后的部分进行膜层去除和清洁的吸盘单元;
安装于所述安装板且可相对于所述支撑件动作、且位于测试工位时用于对切割后的部分进行研磨以暴露金属电极层的研磨单元;
安装于所述安装板且可相对于所述支撑件动作、且位于测试工位时用于进行金属电极层判断及进行电阻测量的辅助探针单元;
安装于所述安装板且可相对于所述支撑件动作、且位于测试工位时用于对辅助探针单元测试合格的金属电极层进行测试的测试探针单元;
用于驱动所述切割单元、吸盘单元、研磨单元、辅助探针单元、测试探针单元动作的第二驱动装置,以驱动所述切割单元、吸盘单元、研磨单元、辅助探针单元、测试探针单元在测试工位和非测试工位之间切换。
上述测试探针装置包括支架、可升降安装于所述支架的支撑件、驱动所述支撑件相对于所述支架动作的第一驱动装置、安装于所述支撑件的测试组件,测试组件包括安装板和安装于安装板的切割单元、吸盘单元、研磨单元、辅助探针单元、测试探针单元,通过上述测试探针装置可以在生产线内实现对显示面板有效显示区进行切片测试,实现显示面板真正有效显示区的薄膜晶体管特性检测,具体为实现对薄膜晶体管的金属电极的电性检测。
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