[发明专利]柔性发光器件的制造方法以及制造装置

说明书

根据本公开的柔性发光器件的制造方法，在对层叠构造体(100)的树脂膜(30)的中间区域(30i)和柔性基板区域(30d)进行了分割后，利用剥离光照射柔性基板区域(30d)与玻璃基座(10)之间的界面。在使层叠构造体(100)接触了台部(210)的状态下，将层叠构造体(100)分离为第一部分(110)和第二部分(120)。第一部分(110)包括与台部(210)接触的多个发光器件(1000)，发光器件(1000)具有多个功能层区域(20)和柔性基板区域(30d)。第二部分(120)包括玻璃基座(10)和中间区域(30i)。利用剥离光照射的工序包括以下工序，即，由排列而成的多个光源形成上述剥离光，且根据上述合成树脂膜的上述柔性基板区域的形状来在时间上和空间上调制上述多个光源的输出，并使剥离光对中间区域(30i)与玻璃基座(10)之间的界面的至少一部分的照射强度低于剥离光对柔性基板区域(30d)与玻璃基座(10)之间的界面的照射强度。

技术领域

本公开涉及柔性发光器件的制造方法以及制造装置。

背景技术

柔性显示器的典型例是具备有由聚酰亚胺等合成树脂制成的薄膜(以下称为“树脂膜”)、被树脂膜支承的TFT(Thin Film Transistor)以及OLED(Organic Light EmittingDiode)等元件。树脂膜作为柔性基板起作用。由于构成OLED的有机半导体层容易因水蒸气而劣化，因此柔性显示器被阻气膜(封装膜)封装。

上述的柔性显示器的制造是使用在上表面上形成有树脂膜的玻璃基座进行。玻璃基座在制造工序中作为将树脂膜的形状维持为平面状的支承体(载体)起作用。通过在树脂膜上形成TFT元件以及OLED等发光元件以及阻气膜等，从而在被玻璃基座支承的状态下实现柔性显示器的构造。其后，将柔性显示器从玻璃基座剥离，并获得柔软性。可以将排列有TFT元件以及OLED等发光元件的部分作为整体称为“功能层区域”。

根据现有技术，在从玻璃基座剥离了包括多个柔性显示器的片状的构造物后，相对于该片状的构造物进行光学部件等的安装。其后，从片状的构造物分割多个柔性器件。该分割例如通过激光束的照射来进行。

专利文献1公开为了将各个柔性显示器从玻璃基座(支承基板)剥离而利用激光照射各个柔性显示器与玻璃基座之间的界面的方法。根据专利文献1公开的方法，在剥离光照射后，分割成各个柔性显示器，并将各个柔性显示器从玻璃基座剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-48619号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

根据现有的制造方法，在包括多个柔性显示器的片状的构造物安装了例如封装薄膜、偏振板以及/或者散热片等高价的部件后，进行基于激光束的照射的分割，因此通过激光束的照射而分割的不需要部分即最终没有构成显示器的部分完全是浪费的。另外，也存在以下课题，即，在从玻璃基座剥离后，不易处理不具有刚性的多个柔性显示器。

这样的问题不限于具有OLED作为发光元件的柔性显示器，并且也可能在具有由无机半导体材料制成的微型LED(μLED)作为发光元件的柔性发光器件的制造过程中发生。

本公开提供能够解决上述课题的柔性发光器件的制造方法以及制造装置。

解决问题的方案