[发明专利]用于偏转激光射束的设备

说明书

本发明涉及一种用于偏转激光射束的设备(100)，所述设备具有设置成用于产生激光射束的至少一个光源(101)，和至少一个集成光学线路(107)，其中，所述集成光学线路(107)布置在衬底上，其中，所述衬底具有第一主延伸方向、第二主延伸方向和第三主延伸方向并且所述第一主延伸方向和所述第二主延伸方向展开衬底表面的平面并且所述第三主延伸方向垂直于所述衬底表面的平面地布置，其中，所述集成光学线路(107)具有至少一个波导(104)和至少一个发射器件(106)，其中，所述发射器件(106)作为所述集成光学线路(107)的输出端起作用并且所述激光射束沿着第一方向发射，其特征在于，设置有偏转器件(108)，该偏转器件具有沿着所述第一主延伸方向或沿着所述第二主延伸方向或沿着所述第三主延伸方向的相对于所述衬底的间距，其中，所述偏转器件(108)使所述激光射束沿着第二方向偏转，其中，所述第二方向不同于所述第一方向。

技术领域

本发明涉及一种用于偏转激光射束的设备。

背景技术

已知基于光学移相器的射束偏转单元，所述射束偏转单元不具有可运动部件。因此，这些射束偏转单元用作为针对机械镜的替代物。在这里，典型地实现在大约5°-15°的范围中的偏转角度。

在此不利的，所述偏转角度对于激光雷达应用而言过小，因为在那里需要明显更大的偏转角度。

文献US 2016/0049765 A1公开了多个一维的射束形成芯片，所述射束形成芯片形成二维扫描的固体阵列，使得可以感测三维的环境图像。在此，固体阵列相叠地布置并且在相应的芯片的端部处辐射。在此，控制方向位于芯片平面中。

在这里不利的，通过相应固体阵列的定向确定激光射束的偏转角度。换言之，在垂直的偏转维度上的分辨率不能改变。

发明内容

本发明的任务是，改变并且增大偏转角度。

用于偏转激光射束的设备包括设置成用于产生激光射束的至少一个光源和至少一个集成光学线路。集成光学线路布置在衬底上。在此，衬底具有第一主延伸方向、第二主延伸方向和第三主延伸方向。第一主延伸方向和第二主延伸方向展开衬底表面的平面并且第三主延伸方向垂直于衬底表面的平面地布置。集成光学线路具有至少一个波导和至少一个发射器件，其中，发射器件作为集成光学线路的输出端起作用并且沿着第一方向发射激光射束。根据本发明，设置有偏转器件，该偏转器件具有沿着第一主延伸平面或沿着第二主延伸平面或沿着第三主延伸平面的相对于衬底的间距，其中，偏转器件使激光射束沿着第二方向偏转，其中，第二方向不同于第一方向。

在此优点是，偏转角度可以与衬底的定向无关地改变。

在扩展方案中，集成光学线路包括至少一个光学移相器和至少两个发射器件。换言之，集成光学线路构型为相位控制的成组天线。相位控制的成组天线也作为概念光学相位阵列天线已知。

在此优点是，由所述至少两个发射器件发出的光干涉并且这可以通过移相器控制。该控制允许使已经沿着第一方向的射束偏转。这意味着，激光射束在发射器件的输出端处的方向可以不同于激光射束在偏转装置的输出端处的方向。

在扩展方案中，设置有多个集成光学线路，所述集成光学线路构型为一维或二维的阵列并且布置在共同的载体衬底上。换言之，集成光学线路形成或构成平面阵列。

在此有利的，可以使多个激光射束同时偏转并且这些激光射束可以覆盖不同的扫描区域，即允许激光射束的平行化。根据偏转器件的位置和形状，使由光学线路发出的激光射束沿不同方向偏转。换言之，偏转器件不使每个射束沿相同方向偏转。

在另外的构型中，第一方向相应于第三主延伸方向。

在此优点是，可以使垂直于衬底表面发射的射束偏转。

在扩展方案中，第一方向相应于第一主延伸方向或第二主延伸方向。