[发明专利]压电体膜、压电体膜的制造方法以及压电体器件

权利要求书

1.一种压电体膜，是包含氟树脂作为压电材料的压电体膜，所述氟树脂在将所构成的所有重复单元设为100摩尔％时包含50摩尔％以上的源自偏氟乙烯的重复单元，

所述压电体膜的压电常数d31为20pC/N以上，

并且，通过TMA测定求出的收缩开始的外推起始温度为90℃以上且135℃以下，所述外推起始温度是依据JISK0129的温度，

将所述压电体膜在100℃下加热24小时的处理是试验处理，在所述试验处理的前后测定出的压电常数d31之差相对于所述试验处理前的压电常数d31为20％以下。

2.根据权利要求1所述的压电体膜，其中，

所述氟树脂为偏氟乙烯的均聚物。

3.一种压电体膜的制造方法，其包括：

膜形成工序，对由氟树脂形成的片材进行拉伸处理和极化处理，由此，形成具有压电性的结晶性高分子膜，所述氟树脂在将所构成的所有重复单元设为100摩尔％时包含50摩尔％以上的源自偏氟乙烯的重复单元；

松弛工序，将所述结晶性高分子膜在90℃以上且115℃以下的第一温度下加热5秒以上且130秒以下，由此，对所述结晶性高分子膜进行热固定和残余应变的松弛；以及

二次加热工序，将所述松弛工序后的所述结晶性高分子膜在所述第一温度以上且140℃以下进一步再加热15秒以上且120秒以下来制造压电体膜。

4.根据权利要求3所述的压电体膜的制造方法，其中，

在所述二次加热工序中，将所述结晶性高分子膜在所述第一温度下加热。

5.一种压电体膜的制造方法，是由结晶性高分子片材制造压电体膜的方法，所述制造方法包括：

膜形成工序，对由氟树脂形成的片材进行拉伸处理和极化处理，由此，形成具有压电性的结晶性高分子膜，所述氟树脂在将所构成的所有重复单元设为100摩尔％时包含50摩尔％以上的源自偏氟乙烯的重复单元；以及松弛工序，将所述结晶性高分子膜在高于115℃且150℃以下的温度下加热10秒以上且140秒以下，由此，对所述结晶性高分子膜进行热固定和残余应变的松弛。

6.一种压电体器件，其具备权利要求1或2所述的压电体膜。