[发明专利]泵装置

权利要求书

1.一种泵装置，其特征在于，具备：

第1压电泵，其在独立的驱动中被以第1频率驱动；

第2压电泵，其在独立的驱动中被以第2频率驱动；和

驱动电路，其将所述第1压电泵和所述第2压电泵以相同的驱动频率驱动，

所述第1压电泵和所述第2压电泵在电并联连接的状态下向所述驱动电路电连接，

所述第1压电泵在所述第1频率下产生最大的流量，

所述第2压电泵在所述第2频率下产生最大的流量，

所述第1频率与所述第2频率不同，

所述驱动频率是所述第1频率和所述第2频率之间的规定频率，

所述第1频率和所述第2频率之间的频率差小于所述第1频率±5％。

2.根据权利要求1所述的泵装置，其特征在于，

所述规定频率被设定为包括使向所述第1压电泵和所述第2压电泵的并联电路流动的电流值成为最大值的频率。

3.根据权利要求2所述的泵装置，其特征在于，

所述驱动频率还使用所述并联电路的阻抗来设定。

4.根据权利要求1或2所述的泵装置，其特征在于，

所述驱动电路的所述驱动频率下的输出阻抗比所述第1压电泵和所述第2压电泵的所述驱动频率下的输入阻抗小，且为阻抗的阈值以下。

5.根据权利要求4所述的泵装置，其特征在于，

所述阻抗的阈值为所述输入阻抗的1％。

6.根据权利要求1或2所述的泵装置，其特征在于，

所述第1压电泵的所述驱动频率下的阻抗和所述第2压电泵的所述驱动频率下的阻抗为200Ω以下。

7.根据权利要求6所述的泵装置，其特征在于，

所述第1压电泵的所述驱动频率下的阻抗和所述第2压电泵的所述驱动频率下的阻抗为100Ω以上。

8.根据权利要求1或2所述的泵装置，其特征在于，

所述驱动电路具备：

电阻元件，其与所述第1压电泵和所述第2压电泵的并联电路串联连接；

控制电路，其使用所述电阻元件的电压来计测在所述并联电路流动的电流值，输出基于该电流值的控制电压；和

驱动电压施加电路，其使用所述控制电压对所述第1压电泵和所述第2压电泵施加驱动电压。

9.根据权利要求8所述的泵装置，其特征在于，

所述控制电压的频率设定为成为使所述电流值成为最大的驱动频率。

10.根据权利要求1或2所述的泵装置，其特征在于，

所述驱动电路具备：

放大电路，其输出向所述第1压电泵和所述第2压电泵给予的第1驱动信号；

相位翻转电路，其使所述第1驱动信号相位翻转而输出向所述第1压电泵和所述第2压电泵给予的第2驱动信号；

电阻元件，其连接于所述第1压电泵和所述第2压电泵的并联电路与所述放大电路之间；

差动电路，其输入有所述电阻元件的两端电压；和

滤波电路，其从所述差动电路的输出中除去对所述第1压电泵和所述第2压电泵作用的高次谐波成分而给到所述放大电路。

11.根据权利要求10所述的泵装置，其特征在于，

所述驱动频率由所述第1压电泵和所述第2压电泵的阻抗、所述滤波电路的阻抗决定。