[发明专利]用于输送基板载体的真空锁和方法

说明书

一种用于真空涂布设备的真空锁(10)包括：腔室(30)，用于接纳基板载体(20)，其中腔室(30)包括第一内表面(31)和第二内表面(32)。输送机(40)被配置为用于输送基板载体(20)。真空锁(10)包括流动通道组件(51、52、56、57)，用于使腔室(30)抽空和排气，流动通道组件(51、52、56、57)被配置为既在第一内表面(31)与面向第一内表面(31)的第一基板载体表面(21)之间并也在第二内表面(32)与面向第二内表面(32)的第二基板载体表面(22)之间引起气体流动。基板载体(20)可定位在第一内表面(31)与第二内表面(32)之间，使得第一内表面(31)与第一基板载体表面(21)之间的第一距离和基板载体(20)的长度(L)的比率小于0.1，并且第二内表面(32)与第二基板载体表面(22)之间的第二距离和基板载体(20)的长度(L)的比率小于0.1。

技术领域

本发明涉及用于将基板引入生产线中和/或从生产线移除基板的设备和方法。本发明具体地涉及一种用于真空涂布设备的真空锁以及用于将基板载体从常压下的环境引入真空涂布设备中和/或用于将基板载体从真空涂布设备移除到常压下的环境中的方法。

背景技术

为了进行真空涂布，必须借助于真空锁将有待涂布的基板引入生产线中，所述真空锁的气体压力通常在常压与相当低的压力(例如，小于100Pa的压力)之间改变。为了实现高设备吞吐量，真空锁的较短循环时间以及因此快速抽空和排气是合乎希望的。

具体地，当提到小型和轻便的基板时，基板在抽空或排气期间会面临被抬离其存储区域或其在基板载体上的位置或者甚至遭到损坏的风险。通过在抽空和排气期间使真空锁的与时间有关的压力改变保持为低，可减少基板的不希望移动或损坏的风险。然而，这以不希望的方式增加了引入和移除基板所需的时间。例如借助于以如在例如WO 2016/173125A1中所描述的交替方式引入基板的多个真空锁可有效地增加循环时间，但是需要提供附加的真空锁和/或更复杂的真空锁组件。

DE 10 2012 109 830 A1公开了一种用于水平连续管线的锁腔室。

DE 10 2011 011 279 A1公开了一种用于在真空壳体内的通风期间引导气体流动的设备。

DE 10 2005 024 181 A1公开了一种用于真空腔室的输送机械。

为了防止基板从基板载体中的相应夹具中被压出，可设置固持装置。当提到基板载体的装载和卸载时，这导致精力增加。此外，基板损坏的风险持续存在。

需要改进的设备和方法，其用于将基板引入生产线中和/或从生产线移除基板。具体地，需要此类设备和方法，其适于克服用于例如真空涂布的过程或设备中的压力差。具体地，需要此类设备和方法，其减少了在转移期间基板以不希望的方式被移动或在基板载体处或基板载体内损坏的风险，其中较短循环时间是可实现的。具体地，需要此类设备和方法，其减少了在转移期间基板以不希望的方式被移动或在基板载体处或基板载体内损坏的风险，而无需提供用于引入相同生产线中的多个并行操作的真空锁和/或使用将基板固持在基板载体上的固持元件。

发明内容

根据本发明，提供了具有独立权利要求中所陈述特征的真空锁、涂布设备和方法。从属权利要求定义实施方式。