[发明专利]制造容差和宽带偏振分路器和旋转器

权利要求书

1.一种偏振分路器旋转器(PSR)，包括：

基板；

形成在所述基板中的初级贯通波导，所述初级贯通波导具有贯通第一端、贯通主体和贯通第二端，所述贯通第一端具有贯通第一宽度和贯通第一厚度，所述贯通主体具有从所述贯通第一端延伸至所述贯通第二端的加宽锥度，所述贯通第二端具有大于所述贯通第一宽度的贯通第二宽度，所述贯通第二端的至少一部分具有小于所述贯通第一厚度的贯通第二厚度，所述贯通主体具有朝着所述贯通第二端延伸的顶部并且具有延伸至所述贯通第二端的底部，所述底部具有从所述贯通第一端至所述贯通第二端的加宽锥度，所述顶部具有从所述贯通第一端朝向所述贯通第二端的变窄锥度，从而暴露出所述底部的表面，所述底部的暴露表面具有从所述贯通第一端朝向所述贯通第二端的加宽锥度，所述贯通第一端配置成接收具有TE模式和TM模式的输入光，所述初级贯通波导配置成将所述TE模式传播到所述贯通第二端；

形成在所述基板中的次级交叉波导，所述次级交叉波导具有交叉第一端、交叉主体和交叉第二端，所述交叉第一端具有交叉第一宽度和交叉厚度，所述交叉主体具有从所述交叉第一端延伸至所述交叉第二端的加宽锥度，所述交叉第二端具有大于所述交叉第一宽度的交叉第二宽度，所述交叉第二端具有所述交叉厚度，所述次级交叉波导配置成接收与所述初级贯通波导交叉的所述TM模式并且配置成将所述TM模式转换成传播到所述交叉第二端的第二TE模式；以及

位于所述初级贯通波导和所述次级交叉波导之间的间隙。

2.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述间隙具有从所述贯通第一端与所述交叉第一端之间的间隙第一端至所述贯通第二端与所述交叉第二端之间的间隙第二端大体上恒定的宽度。

3.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述基板是SiO₂。

4.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述初级贯通波导是Si。

5.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述次级交叉波导是Si。

6.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述初级贯通波导是SiN。

7.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述次级交叉 波导是SiN。

8.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述初级贯通波导在第一端和第二端之间的中间位置处在宽度和高度平面中具有“L”形截面轮廓。

9.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述次级交叉波导具有矩形截面轮廓，其中所述交叉第一宽度大于所述交叉厚度。

10.根据权利要求1所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述初级贯通波导的所述顶部具有蚀刻面，所述蚀刻面从顶表面延伸至所述底部的所述暴露表面。

11.根据权利要求10所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述蚀刻面在所述贯通第一端至所述贯通第二端之间是线性的。

12.根据权利要求10所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述蚀刻面从所述顶表面至所述暴露表面是平坦的。

13.根据权利要求10所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述蚀刻面终止于所述贯通第二端的拐角处。

14.根据权利要求10所述的偏振分路器旋转器(PSR)，其中所述蚀刻面起始于所述贯通第一端的离所述次级交叉波导最远的拐角处。