[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、具备固化膜的元件、具备固化膜的有机EL显示装置、固化膜的制造方法及有机EL显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、和25℃下的酸解离常数pKa为6.0以上且9.5以下的具有酚系羟基的化合物(E₂)。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述酚系抗氧化剂(D)的、25℃下的酚性羟基的酸解离常数pKa为10.1以上且13.0以下。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述25℃下的酸解离常数pKa为6.0以上且9.5以下的具有酚系羟基的化合物(E₂)的含量与所述酚系抗氧化剂(D)的含量的质量比即E₂/D为2以上且20以下。

4.一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、和除酚系抗氧化剂(D)以外的具有酚系羟基的化合物(E)，所述除酚系抗氧化剂(D)以外的具有酚系羟基的化合物(E)含有分子内具有吸电子性基和酚系羟基的化合物(E₁)。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，所述分子内具有吸电子性基和酚系羟基的化合物(E₁)的含量的质量比即E₁/D为2以上且20以下。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物，所述碱溶性树脂(A)含有聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并唑前体、和/或它们的共聚物。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂组合物，所述酚系抗氧化剂(D)含有受阻酚系抗氧化剂。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，其用于形成具有能够弯曲的部分和/或在被弯曲了的状态下被固定化了的部分的有机EL显示装置的绝缘膜。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，所述热交联剂(C)含有具有酚性羟基、并且在所述酚性羟基的两邻位具有羟甲基和/或烷氧基甲基的热交联剂。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，其进一步含有着色剂(F)。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物为片状。

12.一种固化膜，其由权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物形成。

13.一种元件，其具备权利要求12所述的固化膜。

14.一种有机EL显示装置，其具备权利要求12所述的固化膜。

15.根据权利要求14所述的有机EL显示装置，所述有机EL显示装置的具备固化膜的部分的至少一部分具有能够弯曲的部分和/或在被弯曲了的状态下被固定化了的部分，所述能够弯曲的部分和/或在被弯曲了的状态下被固定化了的部分的曲率半径为0.1mm以上且5mm以下的范围。

16.一种电子部件，配置有权利要求12所述的固化膜作为重布线间的层间绝缘膜。

17.一种固化膜的制造方法，其包含下述工序：

(1)将权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板，形成感光性树脂膜的工序；

(2)将该感光性树脂膜进行干燥的工序；

(3)隔着光掩模对经干燥的感光性树脂膜进行曝光的工序；

(4)将经曝光的感光性树脂膜进行显影的工序；以及

(5)将经显影的感光性树脂膜进行加热处理的工序。

18.一种有机EL显示装置的制造方法，其包含下述工序：通过权利要求17所述的方法形成固化膜。