[发明专利]微粒数检测器

说明书

微粒数检测器具备控制部，该控制部执行用于求出气体中的微粒的数量的微粒数检测处理。控制部在执行微粒数检测处理时，在已由加热器将通气路加热的状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的流量，基于与带电微粒捕集电极捕集到的带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和气体的流量，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。

技术领域

本发明涉及微粒数检测器。

背景技术

作为微粒数检测器，已知如下微粒数检测器，即，利用电荷产生元件通过电晕放电而产生离子，利用该离子使被测定气体中的微粒带电，对已带电的微粒进行捕集，并基于捕集到的微粒的电荷量而测定微粒的个数。另外，关于上述微粒数检测器提出了如下方案，即，利用加热器对捕集到的微粒进行加热而将其烧除，或者利用加热器对积存于气体的流入孔、排出孔的微粒进行加热而将其烧除(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/146456号小册子

发明内容

但是，为了求出被测定气体中的每单位体积的微粒的数量，需要使用被测定气体的流量。然而，专利文献1的微粒数检测器不具备对被测定气体的流量进行测定的功能，因此，无法求出被测定气体中的每单位体积的微粒的数量。

本发明是为了解决上述课题而完成的，其主要目的在于，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。

本发明的第一实施方式的微粒数检测器具备：

壳体，该壳体具有通气路；

气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；

电荷产生部，该电荷产生部在所述通气路内通过气体放电而产生电荷，并对从所述通气路内通过的气体中的微粒附加所述电荷而使其成为带电微粒；

带电微粒捕集电极，该带电微粒捕集电极对所述带电微粒进行捕集；

加热器，该加热器能够对所述通气路进行加热；

加热器测温部，该加热器测温部对所述加热器的表面温度进行测定；以及

控制部，该控制部执行用于求出所述气体中的所述微粒的数量的微粒数检测处理，

所述控制部在执行所述微粒数检测处理时，在已由所述加热器将所述通气路加热的状态下，基于所述气体的温度与所述加热器的表面温度之差、以及由所述加热器供给的热量而求出所述气体的流量，基于与所述带电微粒捕集电极捕集到的所述带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和所述气体的流量，求出所述气体中的每单位体积的所述微粒的数量。

该微粒数检测器在执行微粒数检测处理时，形成为已由加热器将通气路加热的状态。在该状态下，基于气体的温度与加热器的表面温度之差、以及由加热器供给的热量而求出气体的流量。另外，基于与带电微粒捕集电极捕集到的带电微粒的电荷量相应地变化的物理量和气体的流量，求出气体中的每单位体积的微粒的数量。本发明的第一实施方式的微粒数检测器具备对气体流量进行测定的功能，因此，即便未另行准备流量计，也能够求出气体中的每单位体积的微粒的数量。

本发明的第一实施方式的微粒数检测器可以构成为：所述控制部在未执行所述微粒数检测处理时执行如下再生处理，即，利用所述加热器使得所述带电微粒捕集电极升温至规定的微粒烧除温度，由此将堆积于所述带电微粒捕集电极的所述微粒烧除。据此，能够将加热器用于气体流量的检测和带电微粒捕集电极的再生的双方。

本发明的第二实施方式的微粒数检测器具备：

壳体，该壳体具有通气路；

气体测温部，该气体测温部对从所述通气路内通过的气体的温度进行测定；