[发明专利]用于控制臭氧发生机器的方法

权利要求书

1.一种用于在臭氧发生机器(OGM)中产生臭氧的方法，所述臭氧发生机器(OGM)包括由臭氧化间隙(OG)和介电层隔开的并且位于臭氧发生器(OzG)中的至少两个电极(E1，E2)，所述臭氧发生器(OzG)包括用于接收含有氧气的进料气体的至少一个气体入口(O2IN)和用于排出含有臭氧的气体的气体出口(O3OUT)，所述方法包括以下步骤：

在给定的进料气体流量和进料气体压力下，在所述臭氧发生器(OzG)的气体入口(O2IN)供应含有氧气的进料气体，

向所述臭氧发生器(OzG)的所述至少两个电极(E1，E2)提供交流电流，以在所述臭氧化间隙(OG)中产生放电，从而在所述臭氧发生器(OzG)的气体出口(O3OUT)处产生给定量的臭氧，

调节电流功率和多个工艺参数中的至少一个的第一调节步骤，所述多个工艺参数包括所述臭氧发生器(OzG)的进料气体流量、电流频率、电流电压、冷却温度，以调节在所述臭氧发生器(OzG)的气体出口(O3OUT)处产生的臭氧量，

其特征在于，在臭氧产生过程中，所述方法包括以下步骤：

监测电功率和多个工艺参数中的所述至少一个参数，所述多个工艺参数包括进料气体流量、电流频率、电流电压、冷却温度，

然后，响应于电流功率和所述至少一个工艺参数的调节来调节进料气体压力的第二调节步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，调节进料气体压力的步骤包括：

基于进料气体压力、电流功率和所述至少一个所述工艺参数，计算预测臭氧发生器(OzG)性能的模型的进料气体压力的导数的步骤，以确定最佳进料气体压力，所述最佳进料气体压力使得以电流功率的调节值和所述至少一个经调节的工艺参数操作的臭氧发生器(OzG)具有最优的效率，和

调节进料气体压力，以达到臭氧发生器(OzG)内的最佳气体进料压力。

3.根据权利要求1或2所述的方法，包括通过测量臭氧浓度和/或测量流经臭氧发生器(OzG)的气体的流量来监测在臭氧发生器(OzG)的气体出口(O3OUT)处所产生的臭氧量的步骤。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，计算最佳进料气体压力和调节进料气体压力的步骤与电流功率或多个工艺参数中的所述至少一个参数的变化同时进行，或者在电流功率或多个工艺参数中的所述至少一个参数变化之后的预定操作时间内进行。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，电流功率的调节是对电流频率的调节。

6.根据权利要求5所述的方法，其中：

在调节电流功率和多个工艺参数中的至少一个的步骤期间，仅调节电流频率和进料气体流量，其中：

电流频率的增加导致进料气体压力的增加，

电流频率的降低导致进料气体压力的降低。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其中，调节电功率是对电流电压的调节。

8.根据权利要求7所述的方法，其中：

在调节电流功率和多个工艺参数中的至少一个的步骤期间，仅调节电流电压和进料气体流量，其中：

电流电压的增加导致进料气体压力的增加，

电流电压的降低导致进料气体压力的降低。

9.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述臭氧发生器(OzG)中的绝对气体压力在0.5巴(a)-6巴(a)的范围内变化。

10.根据权利要求1所述的方法，包括以下步骤：

监测臭氧的产生量，

监测进料气体压力，

监测消耗的电量，

基于所产生的臭氧量和消耗的电量计算和监测臭氧产率，

比较调节气体进料压力步骤前后的臭氧产率，和

如果在调节气体进料压力的步骤之后臭氧产率降低，则重复调节进料气体压力的步骤，以优化臭氧产率。