[发明专利]滑动构件及包覆膜

权利要求书

1.一种滑动构件，其在滑动面上具有由硬质碳层形成的包覆膜，

通过明视野TEM图像观察所述包覆膜的剖面时，包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层和相对地由白色表示的白色硬质碳层的重复单元在厚度方向上层叠，且具有1μm～50μm的范围内的厚度，

所述包覆膜具有设置于基材侧的倾斜区域和设置于表面侧的均质区域，在所述倾斜区域，所述重复单元中的所述白色硬质碳层的厚度在厚度方向上逐渐变大，在所述均质区域，所述重复单元中的所述白色硬质碳层的厚度在厚度方向上相同或大致相同，

所述倾斜区域具有下述形态：所述重复单元内的所述黑色硬质碳层和所述白色硬质碳层的边界为波状或三角波状，在所述黑色硬质碳层上，所述白色硬质碳层在厚度方向上以V字形或放射状成长，

所述均质区域不具有在厚度方向上以V字形或放射状成长的形态。

2.根据权利要求1所述的滑动构件，其中，

所述均质区域中的所述黑色硬质碳层与所述白色硬质碳层的厚度之比、即黑色厚度/白色厚度为0.01～0.3。

3.根据权利要求1或2所述的滑动构件，其中，

所述白色硬质碳层的sp²/sp³比为0.2～0.7，所述黑色硬质碳层的sp²/sp³比小于所述白色硬质碳层的sp²/sp³比、且为0.05～0.3

所述sp²/sp³比通过将透射型电子显微镜与电子能量损失分光法组合的TEM-EELS波谱来测定。

4.根据权利要求1所述的滑动构件，其中，

通过明视野TEM图像观察剖面时，在所述基材或设置于该基材上的基底膜与所述包覆膜之间设置有相对地由白色表示的硬质碳基底膜。

5.根据权利要求1所述的滑动构件，其中，

通过明视野TEM图像观察剖面时，在所述包覆膜上设置有相对地由白色表示的硬质碳表面膜。

6.根据权利要求1所述的滑动构件，其中，

所述滑动构件为活塞环。

7.一种包覆膜，通过明视野TEM图像观察其剖面时，包含相对地由黑色表示的黑色硬质碳层和相对地由白色表示的白色硬质碳层的重复单元在厚度方向上层叠，且具有1μm～50μm的范围内的厚度，

所述包覆膜具有倾斜区域和设置于该倾斜区域上的均质区域，在所述倾斜区域，所述重复单元中的所述白色硬质碳层的厚度在厚度方向上逐渐变大，在所述均质区域，所述重复单元中的所述白色硬质碳层的厚度在厚度方向上相同或大致相同，

所述倾斜区域具有下述形态：所述重复单元内的所述黑色硬质碳层和所述白色硬质碳层的边界为波状或三角波状，在所述黑色硬质碳层上，所述白色硬质碳层在厚度方向上以V字形或放射状成长，

所述均质区域不具有在厚度方向上以V字形或放射状成长的形态。