[发明专利]应力测定方法

权利要求书

1.一种应力测定方法，其是对由金属构成的、包括表面以及具有从该表面凹陷且呈槽状延伸的形状的凹部的被检查体的所述凹部的应力进行测定的方法，其中，

所述应力测定方法包括：

检测工序，使X射线向所述凹部入射，并且利用二维检测器对通过所述X射线在所述凹部衍射而形成的衍射X射线的衍射环进行检测；以及

计算工序，基于所述检测工序的检测结果来计算所述凹部的应力，

在所述检测工序中，对所述被检查体的凹部内的多个部位分别入射X射线，并且利用所述二维检测器对通过将由各X射线在所述部位衍射而形成的多个衍射环重叠而得到的单一衍射环进行检测。

2.根据权利要求1所述的应力测定方法，其中，

在所述检测工序中，作为所述多个部位，选择在所述凹部内连续相连的部位，使X射线连续对该部位入射。

3.根据权利要求2所述的应力测定方法，其中，

在所述检测工序中，作为所述连续相连的部位，选择沿着所述凹部的延伸方向连续相连的部位。

4.根据权利要求1所述的应力测定方法，其中，

在所述检测工序中，以使所述X射线向所述凹部照射的照射面积的合计为所述被检查体的晶粒的面积的规定倍以上的方式使所述X射线入射所述凹部。

5.根据权利要求1所述的应力测定方法，其中，

在所述检测工序中，使各X射线对所述凹部以20°以下的低入射角入射。

6.一种应力测定方法，其是对由金属构成的、包括表面以及具有从该表面凹陷且呈槽状延伸的形状的凹部的被检查体的所述凹部的应力进行测定的方法，其中，

所述应力测定方法包括：

检测工序，使X射线入射所述凹部，并且利用二维检测器对通过所述X射线在所述凹部衍射而形成的衍射X射线的衍射环进行检测；以及

计算工序，基于所述检测工序的检测结果来计算所述凹部的应力，

在所述检测工序中，对所述被检查体的凹部内的单一部位以彼此不同的多个入射角入射X射线，并且利用所述二维检测器对通过将由各X射线在所述部位衍射而形成的多个衍射环重叠而得到的单一衍射环进行检测。

7.根据权利要求6所述的应力测定方法，其中，

在所述检测工序中，所述多个入射角从如下范围选择，该范围将相对于特定的入射角增加了规定角度的入射角作为上限值且将相对于所述特定的入射角减少了所述规定角度的入射角作为下限值。

8.根据权利要求7所述的应力测定方法，其中，

在所述检测工序中，所述特定的入射角从20°以下的低入射角中选择。