[发明专利]应力测定方法

说明书

一种对由金属构成的被检查体的应力进行测定的方法，该方法包括：检测工序，使X射线从照射部向被检查体入射，并且利用二维检测器对X射线在被检查体衍射而形成的衍射X射线的衍射环进行检测；以及计算工序，基于检测工序的检测结果来计算被检查体的应力，在检测工序中，在将照射部以向被检查体入射的入射角处于5°以上且20°以下的范围内的方式相对于被检查体倾斜的状态下，使X射线从该照射部分别向被检查体的多个部位入射，并且利用二维检测器对各X射线在被检查体衍射而形成的衍射环进行检测。

技术领域

本发明涉及对被检查体的应力进行测定的方法。

背景技术

近年，作为以非破坏方式测定由金属构成的被检查体的应力(残余应力)的方法，如专利文献1等所公开那样，正在普及使用二维检测器的二维检测法(所谓的cosα法)。该方法是基于通过以特定的入射角Ψ入射至被检查体的X射线在被检查体的衍射而产生的衍射X射线的衍射环来测定应力的方法。该二维检测法中的测定的精度大致与sin2Ψ成比例，因此，随着入射被检查体的X射线的入射角Ψ从45°起变化，测定精度降低。因此，在二维检测法中，通常，X射线向被检查体入射的入射角Ψ设为25°～65°。在专利文献1中，入射角Ψ设定为30°。

在二维检测法中，在入射被检查体的X射线的入射角Ψ处于25°～65°的范围内情况下，能够进行高精度的测定，但有时由于被检查体的形状等而无法确保适当的入射角。例如，若以X射线向被检查体入射的入射角Ψ处于上述范围的方式将能够照射X射线的照射部相对于被检查体倾斜，则有时衍射X射线或者照射部本身与被检查体发生干涉。在这样的情况下，难以高精度地测定被检查体的应力。另外，随着X射线的入射角Ψ变大，变得容易受到被检查体的表面粗糙度的影响，因此有时也无法确保适当的入射角Ψ。此外，为了测定被检查体的深部的应力，需要减小入射角Ψ，但如上述那样，该测定方法的测定精度大致与sin2Ψ成比例，因此若入射角Ψ变小则测定精度降低。因此，在无法将X射线向被检查体入射的入射角Ψ设定在25°～65°的范围内的情况下、特别是在需要将入射角Ψ设定在比25°小的范围(低入射角)内的情况下，通常，难以应用二维检测法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-27550号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够在X射线对被检查体的入射角处于5°以上且20°以下的范围内且使用二维检测法来高精度地测定被检查体的应力的应力测定方法。

根据本发明的一方面的应力测定方法是对由金属构成的被检查体的应力进行测定的方法，其中，所述应力测定方法包括：检测工序，使X射线从能够照射X射线的照射部向所述被检查体入射，并且利用二维检测器对所述X射线在所述被检查体衍射而形成的衍射X射线的衍射环进行检测；以及计算工序，基于所述检测工序的检测结果来计算所述被检查体的应力，在所述检测工序中，在将所述照射部以所述X射线向所述被检查体入射的入射角处于5°以上且20°以下的范围内的方式相对于所述被检查体倾斜的状态下，使X射线从该照射部分别向所述被检查体的多个部位入射，并且利用所述二维检测器对各X射线在所述被检查体衍射而形成的衍射环进行检测。

另外，根据本发明的另一方面的应力测定方法是对由金属构成的被检查体的应力进行测定的方法，其中，所述应力测定方法包括：检测工序，使X射线从能够照射X射线的照射部向所述被检查体入射，并且利用二维检测器对所述X射线在所述被检查体衍射而形成的衍射X射线的衍射环进行检测；以及计算工序，基于所述检测工序的检测结果来计算所述凹部的应力，在所述检测工序中，使X射线以包括从5°以上且20°以下的范围选择的特定的入射角且彼此不同的多个入射角从所述照射部向所述被检查体的特定的部位入射，并且利用所述二维检测器对各X射线在所述特定的部位衍射而形成的衍射环进行检测。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式的应力测定方法的检测工序的概略图。