[发明专利]高压电阻性输出级电路

权利要求书

1.一种高压高频开关电路，包括：

高压开关电源，用于产生电压大于1kV且频率大于10kHz的脉冲；

输出；以及

电阻性输出级，其与所述高压开关电源的输出电耦接并与之并联，该电阻性输出级包括至少一个用于将与所述输出耦接的负载放电的电阻器，所述电阻性输出级被配置为耗散超过约1千瓦的平均功率。

2.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述高压开关电源包括电源、至少一个开关和升压变压器。

3.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述输出与很大程度上是电容性的等离子体负载耦接。

4.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述输出与包括介电势垒放电装置的等离子体负载耦接。

5.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述电阻性输出级中的电阻器的电阻具有小于约400欧姆的值。

6.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述高压高频开关电源传送大于100kW的峰值功率。

7.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述电阻性输出级中的所述电阻器包括电阻R，并且所述输出与具有电容C的负载耦接，使得R≈C/t_f，其中t_f是脉冲下降时间。

8.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述负载本质上是电容性的，其具有小于50nF的电容，其中，所述负载电容不将电荷保持大于10μs。

9.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述负载本质上是电容性的，并且所述高压高频开关电路对所述负载电容进行快速充电并使所述负载电容快速放电。

10.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，当所述高压开关电源不提供高压脉冲时，所述输出在等离子体内产生大于-2kV的负偏置电压。

11.根据权利要求1所述的高压高频开关电路，其中，所述输出能够产生具有大于1kV的电压、大于10kHz的频率、以及小于约400ns的脉冲下降时间的高压脉冲。

12.一种高压高频开关电路，包括：

高压开关电源，用于产生电压大于1kV且频率大于10kHz的脉冲；

输出；以及

电阻性输出级，其与所述高压开关电源的输出电耦接并与之并联，该电阻性输出级包括至少一个用于将与所述输出耦接的负载放电的电阻器，

其中所述输出能够产生具有大于1kV的电压、大于10kHz的频率、以及小于约400ns的脉冲下降时间的高压脉冲。

13.根据权利要求12所述的高压高频开关电路，其中，所述电阻性输出级被配置为耗散超过约1千瓦的功率。

14.根据权利要求12所述的高压高频开关电路，其中，所述高压开关电源包括电源、至少一个开关和升压变压器。

15.根据权利要求12所述的高压高频开关电路，其中，所述电阻性输出级处理大于10kW的峰值功率。

16.根据权利要求12所述的高压高频开关电路，其中，所述电阻性输出级中的所述电阻器的电阻小于约400欧姆。

17.根据权利要求12所述的高压高频开关电路，其中，所述电阻性输出级包括电感器和电阻器，并且其中，所述电感器的电感L和所述电阻器的电阻R被设置为满足L/R≈tp，其中tp是所述脉冲的脉冲宽度。