[发明专利]定位设备

权利要求书

1.一种定位设备，包括：

能够在基本上竖直的自由度上相对移动的第一构件和第二构件，

至少一个马达，所述至少一个马达被配置为实现所述第一构件和所述第二构件在所述竖直的自由度上的相对运动，

至少一个能量导管，所述至少一个能量导管安装至所述第一构件和所述第二构件中的至少一个构件，所述至少一个能量导管将在所述第一构件和所述第二构件的所述竖直的自由度上的载荷传递到安装有所述至少一个能量导管的所述构件中的至少一个构件上，所述载荷根据所述第一构件和所述第二构件的相对位置而变化，以及

被动补偿构件，所述被动补偿构件被配置为施加载荷，所述载荷在所述第一构件和所述第二构件的所述竖直的自由度上根据所述第一构件和所述第二构件的相对位置而与所述至少一个能量导管所施加的载荷的变化相反地变化，以便至少部分地抵消由所述至少一个能量导管施加在所述构件中的所述至少一个构件上的载荷的变化。

2.如权利要求1所述的定位设备，其中所述被动补偿构件被配置为使得其施加的载荷与所述至少一个能量导管所施加的载荷的变化基本上相等且反向地变化，使得由所述能量导管和所述补偿构件所施加的净载荷对于一定范围的相对位置而言是基本上恒定的。

3.如任一前述权利要求所述的定位设备，被配置为使得安装有所述至少一个能量导管的构件所承载的所述补偿构件的质量的比例与安装有所述至少一个能量导管的构件所承载的所述至少一个能量导管的质量的比例相反地变化。

4.如权利要求3所述的定位设备，被配置为使得安装有所述至少一个能量导管的构件所承载的所述补偿构件的质量的比例与安装有所述至少一个能量导管的构件所承载的所述至少一个能量导管的质量的比例基本上相等且反向地变化。

5.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述补偿构件至少包括第二能量导管。

6.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中能量导管包括至少一根线和/或至少一根管。

7.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中能量导管包括用于至少一根线缆和/或至少一根管的铰接支撑轨道。

8.如任一前述权利要求所述的定位设备，包括至少一个线性马达，所述至少一个线性马达被配置为实现所述第一构件和所述第二构件的相对运动。

9.如任一前述权利要求所述的定位设备，其中所述定位设备是坐标测量机。

10.如权利要求9所述的定位设备，其中所述第一构件被配置成承载测量探针。

11.如权利要求10所述的设备，包括设置在所述第一构件和所述测量探针之间的铰接头，其中所述铰接头被配置成提供安装在其上的工具绕至少一个轴线的旋转。

12.一种定位设备，包括：

能够在线性自由度上相对于彼此移动的第一构件和第二构件；

线性马达，所述线性马达被配置为实现所述第一构件和所述第二构件的相对运动；

至少一个能量导管，所述至少一个能量导管安装至所述第一构件和所述第二构件中的至少一个构件，以及

补偿构件，所述补偿构件被配置为施加与所述至少一个能量导管所施加的载荷相反的载荷，所述补偿构件施加载荷根据第一构件和第二构件的相对位置而与至少一个能量导管所施加的载荷的变化相反地变化，以便基本上平衡由所述至少一个能量导管施加的载荷，其中所述补偿构件包括至少一个第二能量导管。

13.如权利要求12所述的定位设备，其中在至少75％的所述第一构件和第二构件的运动范围内，安装有所述至少一个能量导管的所述第一构件和/或所述第二构件上的由所述能量链和所述补偿构件引起的净载荷小于5牛顿(N)。