[发明专利]光学头和测量设备

权利要求书

1.一种光学头，其中，

该光学头具有：

第1组件，其将用于得到非线性拉曼效果的频率带或频率不同的多束光汇聚于第1点；

第2组件，其获取从所述第1点发出的测量对象的光；以及

第3组件，其支承所述第1组件和所述第2组件，

所述第1组件包括：高刚性的第1框架；以及

第1光学系统，其包括固定于所述第1框架的多个光学元件，

所述第2组件包括：高刚性的第2框架；以及

第2光学系统，其包括固定于所述第2框架的多个光学元件，

所述第3组件包括用于固定所述第1框架和所述第2框架的高刚性的第3框架。

2.根据权利要求1所述的光学头，其中，

所述第1组件包括在调整了所述第1光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第1框架的安装位置之后将所述第1光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第1框架的安装位置固定的机构，

所述第2组件包括在调整了所述第2光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第2框架的安装位置之后将所述第2光学系统所含的至少1个光学元件的相对于所述第2框架的安装位置固定的机构。

3.根据权利要求1或2所述的光学头，其中，

所述第1框架包括二维扩展的区域，所述第1光学系统所含的所述多个光学元件二维地配置于所述第1框架。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的光学头，其中，

所述第2框架包括二维扩展的区域，所述第2光学系统所含的所述多个光学元件二维地配置于所述第2框架。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光学头，其中，

该光学头具有第1激光供给单元和第2激光供给单元，该第1激光供给单元和第2激光供给单元供给所述多束光中的至少任一者，并固定于所述第1框架，

所述第1光学系统的所述多个光学元件包括构成光学路径的多个光学元件，该光学路径将从所述第1激光供给单元供给的第1激光和从所述第2激光供给单元供给的第2激光向照射到所述第1点的共通的第1物镜引导，

该光学头还具有：

第1XY位置调整单元，其将所述第1激光供给单元的相对于所述第1激光的光轴垂直的二维方向的位置相对于所述第1框架调整；以及

第2XY位置调整单元，其将所述第2激光供给单元的相对于所述第2激光的光轴垂直的二维方向的位置相对于所述第1框架调整。

6.根据权利要求5所述的光学头，其中，

该光学头包括：

第1准直透镜，其使所述第1激光成为平行光；

第2准直透镜，其使所述第2激光成为平行光；

第1Z位置调整单元，其将所述第1准直透镜的所述第1激光的光轴方向的位置相对于所述第1框架调整；以及

第2Z位置调整单元，其将所述第2准直透镜的所述第2激光的光轴方向的位置相对于所述第1框架调整。

7.根据权利要求6所述的光学头，其中，

所述第1Z位置调整单元与所述第1激光供给单元一同借助所述第1XY位置调整单元固定于所述第1框架，

所述第2Z位置调整单元与所述第2激光供给单元一同借助所述第2XY位置调整单元固定于所述第1框架。

8.根据权利要求7所述的光学头，其中，

所述第1激光供给单元包括相对于所述第1准直透镜来调整相对于所述第1激光的光轴垂直的二维方向的位置的单元，

所述第2激光供给单元包括相对于所述第2准直透镜来调整相对于所述第2激光的光轴垂直的二维方向的位置的单元。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的光学头，其中，

所述第1激光供给单元包括与供给所述第1激光的激光元件或供给所述第1激光的光纤相连接的第1连接器，

所述第2激光供给单元包括与供给所述第2激光的激光元件或供给所述第2激光的光纤相连接的第2连接器。