[发明专利]光调制元件在审
| 申请号： | 201880010222.8 | 申请日： | 2018-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN110249257A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 片冈利夫;藤野哲也;本谷将之 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 季莹;方应星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光调制元件 控制电极 光波导 高频电极 光波 光调制 传播 设计自由度 高频信号 偏压电极 信号线路 电极 导电层 宽带化 铜合金 基板 通电 施加 | ||
【权利要求书】：
1.一种光调制元件，包括形成于基板的光波导和控制电极，通过向该控制电极通电而控制在所述光波导内传播的光波来进行光调制，其中，
所述控制电极由构成供高频信号传播的信号线路的高频电极和被施加偏压的偏压电极构成，
所述高频电极具有由铜或铜合金构成的导电层。
2.根据权利要求1所述的光调制元件，其中，
在所述高频电极的上表面的一部分形成有由金(Au)构成的表面层。
3.根据权利要求1或2所述的光调制元件，其中，
所述偏压电极不包含由铜或铜合金构成的导电层。
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