[发明专利]软磁性粉末、压粉磁芯、磁性部件及压粉磁芯的制造方法

权利要求书

1.一种软磁性粉末，其除了不可避免的杂质以外，由组成式Fe_aSi_bB_cP_dCr_eM_f表示，

M为选自Co、Ni、Cu、Zn中的1种以上的元素，

0at％≤b≤6at％，4at％≤c≤10at％，5at％≤d≤12at％，0at％＜e，0.4at％≤f＜6at％，且a+b+c+d+e+f＝100at％，

所述M包含Cu，

当将M′设为选自Co、Ni、Zn中的1种以上的元素时，M_f由Cu_gM′_h表示，

78at％≤a≤85at％，e≤3at％，0.4at％≤g＜0.7at％，且f＝g+h，

Al、Ti、S、N、O的含量为Al≤0.05质量％、Ti≤0.05质量％、S≤0.5质量％、N≤0.01质量％、O≤1.0质量％，

所述软磁性粉末含有纳米晶体，

所述纳米晶体中的bcc相以外的化合物相的晶化度为5％以下。

2.如权利要求1所述的软磁性粉末，其中，

0.5at％≤g≤0.65at％。

3.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

(0.2e－0.1)at％≤g≤(2e+0.5)at％，且(6－2e)at％≤d≤(21－5e)at％。

4.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

5at％＜d≤10at％，且0.1at％≤e。

5.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

6at％＜d≤8at％，且0.5at％≤e。

6.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

8at％＜d≤10at％。

7.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

将所述Fe的3at％以下置换为选自Nb、Zr、Hf、Mo、Ta、W、Ag、Au、Pd、K、Ca、Mg、Sn、Ti、Al、S、C、O、N、Y以及稀土元素中的1种以上的元素而构成。

8.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

79at％≤a≤83.5at％，且e≤1.8at％。

9.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

80.5at％≤a。

10.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

e≤1.5at％。

11.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

e≤1.0at％。

12.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

0.1at％≤b。

13.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

Al、Ti、S、N、O的含量为Al≤0.005质量％、Ti≤0.005质量％、S≤0.05质量％、N≤0.002质量％、O≤0.3质量％。

14.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

平均粒径为200μm以下。

15.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

包含有90％以上的非晶相。

16.如权利要求1或2所述的软磁性粉末，其中，

振实密度为3.5g/cm³以上。