[实用新型]一种腔体冷却液自动回收装置

说明书

本实用新型公开一种腔体冷却液自动回收装置，包括：一回水管路，回水管路为三段式管路，分别由回水管一段、回水管二段、回水管三段组成，回水管一段与上段腔体连接，回水管三段与冷却装置连接，回水管二段的两端分别与回水管一段和回水管三段连接；一抽水泵，抽水泵通过管道分别与回水管一段和回水管三段连接。本实用新型的技术方案有益效果在于：通过改进回水管路，将上段腔体和冷却装置之间的回水管路采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵，连接于回水管一段和回水管三段之间，每次维护腔体之前，利用抽水泵将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内，以免造成冷却液不必要的浪费。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备稳定控制器领域，尤其涉及一种腔体冷却液自动回收装置。

背景技术

在半导体设备温度控制器领域中，如图1所示，腔体部件需要使用冷却装置2进行控温，现有技术中，上段腔体1与冷却装置2之间通过一组进水管3和一组回水管4进行冷却液的交换，进水管3上设有进水阀30，当上段腔体1运行时，打开进水阀30让冷却装置2中的冷却液进入上段腔体1内，对上段腔体1进行冷却，进水管3和回水管4均采用快速接头与上段腔体1连接，每次维护腔体前都需要关闭进水管3和回水管4隔离上段腔体。由于上段腔体1内部构造原因，每次隔离上段腔体1后还有大量冷却液残留在上段腔体1内，无法回收至冷却装置2内，造成这部分冷却液不必要的浪费。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种腔体冷却液自动回收设计。

具体技术方案如下：

一种腔体冷却液自动回收装置，其中包括：

一回水管路，所述回水管路为三段式管路，分别由回水管一段、回水管二段、回水管三段组成，所述回水管一段与上段腔体连接，所述回水管三段与冷却装置连接，所述回水管二段的两端分别与所述回水管一段和所述回水管三段连接；

一抽水泵，所述抽水泵通过管道分别与所述回水管一段和所述回水管三段连接。

优选的，所述上段腔体与所述冷却装置之间连接有一进水管路，用于将所述冷却装置中的冷却液输送给所述上段腔体。

优选的，所述的冷却液为氟化离子冷却液ht-200。

优选的，所述进水管路上安装有一进水阀。

优选的，所述回水管二段采用快速接头与所述回水管一段和所述回水管三段连接。

优选的，所述回水管二段为可拆卸式。

优选的，所述抽水泵采用排量2L-4L、功率200W左右、最大流量达到1m³/h的水泵。

优选的，所述回水管路采用PVC管，外层包有保温棉和塑料保护层。

本实用新型的技术方案有益效果在于：通过改进回水管路，将上段腔体和冷却装置之间的回水管路采用分段式设计，共分为三段，并增加一抽水泵，连接于回水管一段和回水管三段之间，每次维护腔体之前，利用抽水泵将残留在上段腔体内的冷却液回收至冷却装置内，以免造成冷却液不必要的浪费。

附图说明

图1为现有技术中腔体冷却液回收装置结构图；

图2为本实用新型实施例的腔体冷却液自动回收装置结构图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。