[实用新型]一种腔体冷却液自动回收装置有效
| 申请号： | 201822189911.X | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209731879U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 陈诚 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H05K7/20 | 分类号： | H05K7/20 |
| 代理公司： | 31272 上海申新律师事务所 | 代理人： | 俞涤炯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 回水管 三段 回水管路 抽水泵 冷却装置 冷却液 段腔 本实用新型 自动回收装置 分段式 三段式 体连接 腔体 种腔 残留 体内 回收 改进 维护 | ||
1.一种腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，包括：
一回水管路，所述回水管路包括回水管一段、回水管二段、回水管三段；所述回水管一段与一上段腔体连接；所述回水管三段与一冷却装置连接；所述回水管二段连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间；
一抽水泵，所述抽水泵连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间。
2.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述上段腔体与所述冷却装置通过一进水管路连接。
3.根据权利要求2所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述进水管路将冷却装置内的冷却液输送给所述上段腔体。
4.根据权利要求3所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述冷却液为氟化离子冷却液。
5.根据权利要求3所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述进水管路上设有一进水阀。
6.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述回水管二段通过两个快速接头连接于所述回水管一段与所述回水管三段之间。
7.根据权利要求6所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述回水管二段为可拆卸式。
8.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述抽水泵采用排量2L-4L、功率200W、最大流量达到1m3/h的水泵。
9.根据权利要求1所述的腔体冷却液自动回收装置，其特征在于，所述回水管路采用PVC管，外层包有保温棉和塑料保护层。
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