[实用新型]一种真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201822174485.2 | 申请日： | 2018-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN209292470U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡平;王若良;邵啟明 | 申请（专利权）人： | 东莞市佳思创自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 | 代理人： | 江丽娇 |
| 地址： | 523820 广东省东莞市大岭山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位柱 固定板 夹持 真空镀膜装置 本实用新型 活动设置 移动滑块 放置板 圆柱形中空结构 一一对应设置 压力传感器 表面固定 侧面安装 垂直设置 工件损坏 活动连接 真空镀膜 中空结构 支撑板 箱门 保证 | ||
1.一种真空镀膜装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)为中空结构，且箱体(1)的一侧面安装有箱门(2)，所述箱体(1)内垂直设置有定位柱(4)，且定位柱(4)设置在箱体(1)内的中间位置，所述定位柱(4)为圆柱形中空结构，且定位柱(4)的表面固定连接有多组放置板(6)，所述放置板(6)上活动设置有固定板(3)，且固定板(3)的一侧活动连接字啊定位柱(4)的表面，所述定位柱(4)内活动设置有移动滑块(5)，且移动滑块(5)固定板(3)一一对应设置，所述定位柱(4)上开设有调节槽(8)，且移动滑块(5)活动设置在调节槽(8)的表面，所述固定板(3)上靠近定位柱(4)的一端通过穿过调节槽(8)，并固定连接在移动滑块(5)上，所述定位柱(4)内的移动滑块(5)之间分别通过连杆(10)固定连接，所述箱体(1)上安装有推杆电机(11)，且推杆电机(11)上的推杆活动穿过箱体(1)，并固定连接在定位柱(4)内靠近箱体(1)顶部的移动滑块(5)上。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述放置板(6)与固定板(3)之间设置有支撑板(7)，且支撑板(7)与放置板(6)之间通过支撑杆(9)连接，所述支撑杆(9)为T形结构，且支撑杆(9)的一端活动穿过放置板(6)，并固定连接在支撑板(7)上，所述支撑板(7)的底部安装有压力传感器，且压力传感器的型号为JY-LCS1。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述支撑杆(9)分别设置在放置板(6)的两端，且支撑杆(9)的表面活动套设有弹簧，所述弹簧设置在支撑板(7)与放置板(6)之间。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述箱门(2)与箱体(1)通过合页连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述调节槽(8)分别设置在定位柱(4)内的两侧。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于，所述放置板(6)垂直连接在定位柱(4)的侧壁上。
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