[实用新型]一种溅射靶材裁板夹具

说明书

本实用新型公开了一种溅射靶材裁板夹具，涉及夹具领域，包括工作台，工作台上安装有固定底座，固定底座上固定连接有固定承接块，固定底座上滑动连接有活动承接块，固定底座上设置有调节组件，调节组件用于调节固定承接块与活动承接块之间的距离，固定底座上可拆卸的固定连接有托举件；当溅射靶材安装在工作台上时，固定承接块与活动承接块抵接溅射靶材的两侧，托举件抵接溅射靶材靠近工作台的面。当工作人员对溅射靶材进行铣削时，固定承接块和活动承接块在调节组件的调节作用下抵紧溅射靶材的侧边，限定溅射靶材在水平方向上的位移，托举件抵紧溅射靶材朝向工作台的一面，使得溅射靶材在铣削过程中不易变形，降低溅射靶材铣削的废品率。

技术领域

本实用新型涉及夹具领域，尤其是涉及一种溅射靶材裁板夹具。

背景技术

溅射金属溅射靶材是半导体芯片生产、薄膜晶体管液晶显示器设备和薄膜太阳能电池等制造加工过程中最重要的原材料之一，溅射靶材在加工过程中需要对毛坯板进行铣削加工。

由于大尺寸的溅射靶材长度长至两米到三米，板厚薄约十几厘米，因此在加工过程中非常容易因为振动而导致工件变形至报废，导致溅射靶材的废品率高。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供一种溅射靶材裁板夹具，其具有溅射靶材铣削时废品率低的效果。

本实用新型的上述实用新型目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种溅射靶材裁板夹具，包括工作台，所述工作台上安装有3个以上的固定底座，所述固定底座上固定连接有固定承接块，所述固定底座上滑动连接有活动承接块，所述固定底座上设置有调节组件，所述调节组件用于调节所述固定承接块与所述活动承接块之间的距离，所述固定底座上可拆卸的固定连接有托举件；

当溅射靶材安装在所述工作台上时，所述固定承接块与所述活动承接块抵接所述溅射靶材的两侧，所述托举件抵接所述溅射靶材靠近所述工作台的面。

通过采用上述技术方案，当工作人员需要对溅射靶材进行铣削时，固定承接块和活动承接块在调节组件的调节作用下抵紧溅射靶材的侧边，限定溅射靶材在水平方向上的位移，同时工作人员通过调整托举件，使得托举件抵紧溅射靶材朝向工作台的一面，限制了溅射靶材在竖直方向上的位移，同时能够托住溅射靶材，使得溅射靶材在铣削过程中不易变形，降低溅射靶材铣削的废品率。

进一步的：所述固定承接块和所述活动承接块均固定连接有限位台阶，所述限位台阶远离所述工作台的面抵接所述溅射靶材。

通过采用上述技术方案，使得溅射靶材的边缘被限位台阶抵接，限位台阶与托举件一同抵接溅射靶材靠近工作台的一面，避免在铣削溅射靶材远离工作台的一面时，长度较长的溅射靶材发生弯曲，降低了溅射靶材铣削时的废品率。

进一步的：所述限位台阶的长度大小大于所述固定底座在所述限位台阶长度方向上的长度大小。

通过采用上述技术方案，可以减少需要安装在工作台上的固定底座数量，且固定底座之间的间隙较大，给溅射靶材的装卸留出了足够的空间。

进一步的：所述托举件包括托举杆和固定连接在所述托举杆上的托举盘，托举杆可拆卸的固定连接在所述固定底座上，所述托举盘抵接所述溅射靶材靠近所述工作台的一面。

通过采用上述技术方案，托举盘增大了托举件与溅射靶材的接触面积，对于溅射靶材的托举更加稳定。

进一步的：所述固定底座上固定连接有调节螺柱，所述托举杆套接在所述调节螺柱上，所述调节螺柱上螺纹连接有调节螺母，所述调节螺母将所述托举杆抵紧在所述固定底座上。

通过采用上述技术方案，当工作人员将调节螺母旋下后，可以拆卸托举杆，因此工作人员可以根据现实加工过程中的情况更换托举杆与托举盘的尺寸。