[实用新型]多孔石英导管及石英导管组有效
| 申请号： | 201822149988.4 | 申请日： | 2018-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN209493323U | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 林秀岩 | 申请（专利权）人： | 宁波比亚迪半导体有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人： | 黄章辉 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导气管 多孔石英 导管 石英导管 通孔 管段 本实用新型 朝向一致 反应腔室 硅片表面 内部开口 外部开口 段连接 反应腔 可调整 侧壁 内孔 扰流 连通 相通 室内 | ||
1.一种多孔石英导管，其特征在于，包括导气管段以及连接在所述导气管段一端且与所述导气管段连通的连接管段，所述导气管段的侧壁上设置有多个通孔，多个所述通孔的内部开口与所述导气管段的内孔相通，多个所述通孔的外部开口的朝向一致；
所述连接管段用于与另外的所述多孔石英导管的导气管段连接。
2.根据权利要求1所述的多孔石英导管，其特征在于，多个所述通孔的形状相同，多个所述通孔的几何中心位于与所述导气管段的轴线平行的一直线上。
3.根据权利要求1所述的多孔石英导管，其特征在于，相邻的两个所述通孔之间的距离相等。
4.根据权利要求3所述的多孔石英导管，其特征在于，所述通孔设置有8～11个，相邻的两个所述通孔之间的距离为40-51mm。
5.根据权利要求3所述的多孔石英导管，其特征在于，所述通孔设置有9～11个，相邻的两个所述通孔之间的距离为40-51mm。
6.根据权利要求3所述的多孔石英导管，其特征在于，所述通孔设置有13～20个，相邻的两个所述通孔之间的距离为15-20mm。
7.根据权利要求4-6任意一项所述的多孔石英导管，其特征在于，所述导气管段上的开孔区间的长度D1＝(N-1)×d1，
其中，N为所述通孔的个数，d1为相邻的两个所述通孔之间的距离。
8.根据权利要求1所述的多孔石英导管，其特征在于，所述导气管段与连接管段垂直，所述通孔的轴线与所述连接管段的轴线之间的夹角为45°。
9.根据权利要求1所述的多孔石英导管，其特征在于，所述通孔的直径为0.45～0.55mm；
所述导气管段的内径为3.8～4.2mm，所述导气管段的外径为7.8～8.2mm；
所述连接管段的外径为9.32～9.72mm。
10.一种石英导管组，其特征在于，包括至少两个如权利要求1-9任意一项所述的多孔石英导管，相邻的两个所述多孔石英导管中，其中一个所述多孔石英导管的导气管段插接在另外一个所述多孔石英导管的连接管段的内孔内，且两个所述多孔石英导管的内孔相通。
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