[实用新型]一种真空箱体抽气口加热装置

说明书

本实用新型公开了一种真空箱体抽气口加热装置，包括设置在真空箱体内抽气口处的匀热板，匀热板上设有与抽气口一致的开口，在匀热板的底面通过加热丝固定板安装有加热丝，所述加热丝呈S型迂回弯折状均匀分布在匀热板底面，加热丝两端为冷端，冷端通过静密封穿过真空箱体壁与引入电极连接。本实用新型的加热装置通过设置在真空室内的加热丝及匀热板对抽气口加热，加热效果好、效率高，使用方便，匀热板可确保抽气口区域的温度均匀性也可以很好的保护加热丝以免基片碎片对加热丝造成损伤。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空箱体抽气口加热装置。

背景技术

在连续镀膜生产线设备进出真空箱体抽气口位置（真空箱体与真空管路连接处），由于经常性处于真空和大气下的循环变化，导致该位置处经常性出现气体凝结现象导致真空抽气能力下降从而影响该真空箱体真空度，导致生产节拍延长。传统的解决方式是在连接的真空管路外部缠绕一层或多层伴热带通过加热来解决该位置凝结现象。由于传统方式是处在大气环境下，伴热带所产生的热量会被外部空气带走，使得传入真空内部的热量降低，而且在每次维护的时候都必须拆除装置比较繁琐。

发明内容

针对上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种加热效果好、使用方便的真空箱体抽气口加热装置。

本实用新型采用的技术方案如下：一种真空箱体抽气口加热装置，包括设置在真空箱体内抽气口处的匀热板，匀热板上设有与抽气口一致的开口，在匀热板的底面通过加热丝固定板安装有加热丝，所述加热丝呈S型迂回弯折状均匀分布在匀热板底面，加热丝两端为冷端，冷端通过静密封穿过真空箱体壁与引入电极连接。

进一步地，所述加热丝为铠装加热丝。

进一步地，在匀热板处还设有热电偶。

本实用新型的加热装置通过设置在真空室内的加热丝及匀热板对抽气口加热，加热效果好、效率高，使用方便，匀热板可确保抽气口区域的温度均匀性也可以很好的保护加热丝以免基片碎片对加热丝造成损伤；加热丝采用铠装加热丝，安全、使用寿命长；加热丝电极引入端采用冷端设计，通过静密封与真空箱体连接，可保证真空室真空度不受影响；热电偶能实时监测和控制加热温度。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的加热部分结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图 1、图2所示，本实用新型的一种真空箱体抽气口加热装置，包括设置在真空箱体1内抽气口处的匀热板2，匀热板2上设有与抽气口一致的开口，在匀热板2的底面通过加热丝固定板3安装有加热丝4，加热丝4为铠装加热丝，所述加热丝4呈S型迂回弯折状均匀分布在匀热板2底面，加热丝4两端为冷端，冷端通过静密封5穿过真空箱体壁与引入电极6连接。在匀热板处还设有热电偶。

本实用新型的加热装置通过设置在真空室内的加热丝及匀热板对抽气口加热，加热效果好、效率高，使用方便，匀热板可确保抽气口区域的温度均匀性也可以很好的保护加热丝以免基片碎片对加热丝造成损伤；加热丝采用铠装加热丝，安全、使用寿命长；加热丝电极引入端采用冷端设计，通过静密封与真空箱体连接，可保证真空室真空度不受影响；热电偶能实时监测和控制加热温度。

在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本实用新型所属领域的技术人员将会想到本实用新型的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本实用新型不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。