[实用新型]一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置

说明书

本实用新型公开了一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体，所述固定壳体上端设置有加热电阻盘，所述加热电阻盘一侧设置有锁紧机构，且加热电阻盘通过锁紧机构与固定壳体固接，所述加热电阻盘上方设置有DP真空镀膜扩散泵，所述固定壳体下端设置有基座，所述基座通过螺栓与地面固定，且固定壳体内部设置有托顶机构；其中锁紧机构包括扣锁部和锁紧部，所述扣锁部固接在加热电阻盘上端，所述锁紧部固接在固定壳体上端。本实用新型通过在加热电阻盘上设置新的锁紧机构，锁紧机构为门栓式夹钳，将电阻盘固定在固定壳体侧边，无需降温，工作人员带上高温手套即可操作，使维护时间大大缩短，使用寿命大大提高。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体是一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置。

背景技术

真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成严重的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术，通常称为干式镀膜技术

目前，在镀膜行业中，原有加热盘使用螺母固定，经过高温后，加热盘变形，螺母特别不易拆装；且固定位置在DP真空镀膜扩散泵底部，操作人员必须趴在DP真空镀膜扩散泵下面才能拆下加热盘。等待DP真空镀膜扩散泵降温到80度以下(降温时间6-8小时)，更换一次时间长达12小时，不易维护。因此，本领域技术人员提供了一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体，所述固定壳体上端设置有加热电阻盘，所述加热电阻盘一侧设置有锁紧机构，且加热电阻盘通过锁紧机构与固定壳体固接，所述加热电阻盘上方设置有DP真空镀膜扩散泵，所述固定壳体下端设置有基座，所述基座通过螺栓与地面固定，且固定壳体内部设置有托顶机构；

其中锁紧机构包括扣锁部和锁紧部，所述扣锁部固接在加热电阻盘上端，所述锁紧部固接在固定壳体上端。

作为本实用新型进一步的方案：所述扣锁部包括固接在加热电阻盘的第一固定板，所述第一固定板上端固接有卡板，所述卡板为L形，所述第一固定板和卡板之间形成卡槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述锁紧部包括第二安装板，所述第二安装板上的垂直设置有第三安装板，所述第三安装板中间通过销轴固接有按压手柄，所述按压手柄上贯穿设置有固定销轴，所述固定销轴两端平行套设有两个横杆，所述两个横杆顶端固接有卡柱，所述卡柱与横杆垂直，所述横杆上设置有锁紧螺栓。

作为本实用新型再进一步的方案：所述卡柱与卡板之间卡接配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述托顶机构包括安装块，所述安装块上端固接有气缸，所述气缸的活塞端上固接有托顶板，所述托顶板上方两侧设置有支杆，所述支杆固接在固定壳体内壁上。