[实用新型]一种动态可调的沟槽形波导结构有效
| 申请号： | 201822045602.5 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209070124U | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州雷目电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人： | 陈思聪 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调控层 波导结构 沟槽形 低折射率介质层 电磁波模式 动态可调 沟槽波导 波导层 折射率 本实用新型 衬底 覆盖 调控 传播 | ||
【权利要求书】：
1.一种动态可调的沟槽形波导结构，包括波导层(1)和衬底(2)，波导层(1)中有沟槽形波导，其特征在于：沟槽形波导内侧覆盖有低折射率介质层(3)，低折射率介质层(3)上覆盖有调控层(4)。
2.如权利要求1所述的动态可调的沟槽形波导结构，其特征在于：所述调控层(4)为热致折射率改变材料。
3.如权利要求1所述的动态可调的沟槽形波导结构，其特征在于：所述调控层(4)为二氧化钒材料。
4.如权利要求1所述的动态可调的沟槽形波导结构，其特征在于：所述低折射率介质层(3)为氟化镁材料。
5.如权利要求1所述的动态可调的沟槽形波导结构，其特征在于：在所述低折射率介质层(3)与调控层(4)间设有石墨烯层。
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