[实用新型]一种辅助装卸镀膜机离化源的装置

说明书

本实用新型公开了一种辅助装卸镀膜机离化源的装置，包括移动载体推车、离化源和靶材座，所述移动载体推车上设有升降支架滑动轨道和操控器，所述升降支架滑动轨道上设有升降支架，所述升降支架上设有离化源支架滑动轨道，所述离化源支架滑动轨道上设有放置离化源支架。本实用新型在一定程度上解放了操作工人体力劳动，使得力量较弱的操作工人同样可以无障碍进行生产操作；机械化的辅助安装，可规避由于人为可能造成的离化源摔损、密封胶圈错位、损伤造成密封失效等不必要的麻烦，确保生产顺利进行；尤其适用于体积较大的镀膜机，可避免当操作工人在更换离化源时需高空作业所造成的一系列不必要的麻烦。

技术领域

本实用新型涉及及PVD多弧离子镀表面处理技术领域，尤其涉及一种辅助装卸镀膜机离化源的装置。

背景技术

PVD多弧离子镀是目前机械加工应用最为广泛的表面处理技术之一。其高离化率的特点，使得此技术在现今的工业生产中仍具有不可替代的地位。PVD多弧离子镀技术采用弧光放电，将阴极靶作为蒸发源，通过靶与阳极壳体之间的弧光放电使靶材蒸发，在真空条件下通入工作气体，从而在空间内形成等离子体，对基体工件沉积薄膜。

为满足不同种类涂层可在同一镀膜机生产，离化源靶材的更换不可避免。受国内机加工精度及技术的限制，绝大多数定制型国产镀膜机在更换离化源靶材时，需同时从腔体拆卸离化源才可更换。因此辅助装卸镀膜机离化源的装置为生产在一定程度上带来了便捷，同时也规避了由于人为可能造成的离化源摔损、密封胶圈移位、损伤造成密封失效等不必要的麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种辅助装卸镀膜机离化源的装置，包括移动载体推车、离化源和靶材座，所述移动载体推车上设有升降支架滑动轨道和操控器，所述升降支架滑动轨道上设有升降支架，所述升降支架上设有离化源支架滑动轨道，所述离化源支架滑动轨道上设有放置离化源支架，所述升降支架和放置离化源支架均与操控器电性连接。

优选地，所述放置离化源支架在离化源支架滑动轨道上水平前后滑动。

优选地，所述升降支架在升降支架滑动轨道上水平前后滑动。

优选地，所述移动载体推车上配备自动刹车装置。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：

1、在一定程度上解放了操作工人体力劳动，使得力量较弱的操作工人同样可以无障碍进行生产操作；

2、机械化的辅助安装，可规避由于人为可能造成的离化源摔损、密封胶圈错位、损伤造成密封失效等不必要的麻烦，确保生产顺利进行；

3、尤其适用于体积较大的镀膜机，可避免当操作工人在更换离化源时需高空作业所造成的一系列不必要的麻烦。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置中放置离化源支架的侧视图；

图3为本实用新型提出的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置中离化源的结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种辅助装卸镀膜机离化源的装置装卸离化源示范示意。

图中：1移动载体推车、2升降支架滑动轨道、3操控器、4升降支架、5离化源支架滑动轨道、6放置离化源支架、7离化源、8靶材座。

具体实施方式