[实用新型]一种晶托抓取两轴机械手有效
| 申请号: | 201821714192.2 | 申请日: | 2018-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN209256916U | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
| 发明(设计)人: | 叶欣;汪辉;金光前;胡普查;孙培文;朱国旺;洪昀 | 申请(专利权)人: | 杭州中为光电技术有限公司 |
| 主分类号: | B25J5/02 | 分类号: | B25J5/02;B25J9/16 |
| 代理公司: | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人: | 陈小良 |
| 地址: | 310030 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 抓取 晶托 两轴机械手 夹爪 种晶 转移效率 检测器 本实用新型 横轴 半导体加工领域 半导体加工 检测器检测 控制器通讯 辅助工具 控制指令 控制器 两轴 自动化 检测 替代 | ||
1.一种晶托抓取两轴机械手,包括夹爪(1),其特征是:该晶托抓取两轴机械手还包括横轴(2)和纵轴(3),所述纵轴(3)沿所述横轴(2)往复运动,所述夹爪(1)沿所述纵轴(3)往复运动,所述横轴(2)包括横向架(4)和固定于所述横向架(4)上的横向导轨(5),在所述纵轴(3)上设置有与所述横向导轨(5)配合的滑座(6),在所述横向架(4)上还设置有第一齿条(7),所述第一齿条(7)与所述横向导轨(5)平行,在所述滑座(6)上设置有与所述第一齿条(7)配合的第一齿轮,在所述滑座(6)上还设置有驱动所述第一齿轮旋转的第一伺服电机,所述纵轴(3)包括纵向架(8),所述滑座(6)固定于所述纵向架(8)上,在所述纵向架(8)上设置有纵向导轨(9),所述夹爪(1)包括与所述纵向导轨(9)配合的座体(10),在所述纵向架(8)上还设置有纵向齿条,所述纵向齿条与所述纵向导轨(9)平行,在所述座体(10)上设置有与所述纵向齿条啮合的第二齿轮,所述座体(10)上设置有驱动所述第二齿轮旋转的第二伺服电机,所述夹爪(1)还包括夹臂(11),所述座体(10)上设置有轨道,所述夹臂(11)上设置有与所述轨道配合的配合部,在所述座体(10)上还设置有驱动所述夹臂(11)沿所述轨道往复运动的驱动器(12),在所述座体(10)上还设置有检测所述夹爪(1)是否抓取物料的检测器(13),该晶托抓取两轴机械手还包括控制器,所述第一伺服电机、第二伺服电机和驱动器(12)均由所述控制器控制工作,所述检测器(13)与所述控制器通讯。
2.根据权利要求1所述一种晶托抓取两轴机械手,其特征是:所述夹臂(11)有两个,两个夹臂(11)均由独立的驱动器(12)驱动,在两个夹臂(11)上均套设有防止夹臂(11)损伤物料的缓冲套,所述缓冲套粘接于所述夹臂(11)上,在所述缓冲套上设置有增大所述缓冲套摩擦系数的花纹。
3.根据权利要求2所述一种晶托抓取两轴机械手,其特征是:所述检测器(13)位于两个夹臂(11)之间,所述检测器(13)包括本体和测量杆(14),所述测量杆(14)滑动连接于所述本体上,在所述测量杆(14)远离所述本体的一端设置有避免测量杆(14)损坏物料的橡胶块,所述橡胶块呈球形,并且,所述橡胶块粘接于所述测量杆(14)上。
4.根据权利要求1至3任意一项所述一种晶托抓取两轴机械手,其特征是:所述轨道的横截面形状为梯形,并且,所述轨道与座体(10)接触的一侧的宽度小于轨道远离所述座体(10)的一侧的宽度,所述轨道与座体(10)为一体式结构。
5.根据权利要求1所述一种晶托抓取两轴机械手,其特征是:所述驱动器(12)为气缸,所述气缸包括缸体和活塞杆,所述缸体固定于所述座体(10)上,所述夹臂(11)与所述活塞杆固定连接。
6.根据权利要求1所述一种晶托抓取两轴机械手,其特征是:所述纵向架(8)通过螺栓固定于所述滑座(6)上,在所述纵向架(8)上均布有与所述螺栓配合的装配孔,在所述纵向架(8)上设置有凸部,在所述滑座(6)上设置有与所述凸部配合的凹部,所述凸部与所述纵向架(8)为一体式结构。
7.根据权利要求1所述一种晶托抓取两轴机械手,其特征是:所述纵向导轨(9)至少有两根,并且,所述纵向导轨(9)的横截面形状均为梯形,所述纵向导轨(9)与所述纵向架(8)接触的一侧的宽度小于所述纵向导轨(9)远离所述纵向架(8)的一侧的宽度。
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