[实用新型]镀膜装置有效
| 申请号： | 201821648196.5 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN209144249U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 杨肸曦 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搭接面 第二侧壁 第一侧壁 镀膜装置 折弯结构 搭接 溅射 接面 腔室 待镀膜工件 环境稳定 溅射靶材 降低设备 维护周期 相邻载体 真空环境 间隔区 溅射区 均匀性 镀膜 气场 污染 叠加 承载 室内 申请 | ||
1.一种镀膜装置，其特征在于，包括：
腔室(500)和多个载体(100)，每一个载体(100)在所述腔室(500)内完成镀膜；
所述载体(100)包括：
本体(110)，用于承载待镀膜工件；
第一折弯结构(120)，包括第一侧壁(122)及第一搭接面(124)，所述第一侧壁(122)两端分别与所述本体(110)一端及所述第一搭接面(124)连接；以及
第二折弯结构(130)，包括第二侧壁(132)及第二搭接面(134)，所述第二侧壁(132)两端分别与所述本体(110)另一端及所述第二搭接面(134)连接；
一个所述载体(100)的所述第二搭接面(134)与相邻另一个所述载体(100)的所述第一搭接面(124)搭接。
2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一搭接面(124)与所述第二搭接面(134)之间的高度差为8mm至12mm。
3.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述本体(110)平行于所述第一搭接面(124)和/或所述第二搭接面(134)。
4.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述本体(110)与所述第一侧壁(122)之间的夹角为130°至140°。
5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述本体(110)与所述第二侧壁(132)之间的夹角为130°至140°。
6.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一搭接面(124)的宽度为22mm至27mm，所述第二搭接面(134)的宽度为22mm至27mm。
7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一侧壁(122)的宽度为30mm至45mm，所述第二侧壁(132)的宽度为30mm至45mm。
8.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括：
观察窗(600)，设置于所述腔室(500)的侧壁。
9.如权利要求8所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括：
传感器(700)，设置于所述腔室(500)的外部，并与所述观察窗(600)正对，用于检测所述腔室(500)内所述载体(100)的位置。
10.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括：
溅射电极(200)，设置于所述腔室(500)的内部；
溅射靶材(300)，与所述溅射电极(200)电连接；
所述溅射电极(200)通电时用于将所述溅射靶材(300)的材料沉积到所述载体(100)承载的所述待镀膜工件的表面，以对所述待镀膜工件进行镀膜。
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