[实用新型]一种自动匀胶设备有效
| 申请号： | 201821640033.2 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN209393478U | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 李卫国;陈志勤;陆前军;王子荣;李城林;赵伍林 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C9/14;B05B15/55 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 匀胶 衬底 匀胶设备 吸片台 滴胶 吸片 本实用新型 冷却喷嘴 膜厚均匀性 冷却模块 喷射冷却 涂胶面 吸附 冷却 承载 保证 | ||
1.一种自动匀胶设备，其特征在于，包括：
匀胶模块，包括匀胶吸片台和滴胶管，所述匀胶吸片台用于承载并吸附放置于所述匀胶吸片台上的衬底，还用于旋转所述衬底使所述衬底的涂胶面匀胶；所述滴胶管位于所述匀胶吸片台的上方，用于滴胶至所述匀胶吸片台上的所述衬底上；
匀胶冷却模块，包括冷却喷嘴，所述冷却喷嘴设置于所述匀胶吸片台上放置的衬底的下方，用于喷射冷却液体至所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面，进行匀胶冷却。
2.根据权利要求1所述自动匀胶设备，其特征在于，所述冷却喷嘴以预设角度向所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面喷射冷却液体。
3.根据权利要求2所述自动匀胶设备，其特征在于，所述冷却喷嘴为管状结构；
所述冷却喷嘴包括相互贯通的第一导管和第二导管，所述第一导管的第一端与所述第二导管的第一端连接，所述第一导管的第二端为冷却液体接入口，所述第二导管的第二端为喷嘴口；所述第一导管的轴线垂直于所述匀胶吸片台，所述第二导管的轴线与所述第一导管的轴线之间的夹角为所述预设角度。
4.根据权利要求3所述自动匀胶设备，其特征在于，所述第一导管上设置有开关控制阀门、流量控制阀门以及流量表头；
所述开关控制阀用于控制所述冷却喷嘴的开启和关闭，所述流量控制阀门用于控制所述冷却液体的流量，所述流量表头用于显示所述冷却液体的当前流量。
5.根据权利要求3所述自动匀胶设备，其特征在于，所述预设角度的取值范围为20°-70°。
6.根据权利要求3所述自动匀胶设备，其特征在于，所述喷嘴口与所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面的距离为2mm-8mm。
7.根据权利要求1所述自动匀胶设备，其特征在于，还包括清洗模块，所述清洗模块包括有机溶剂喷嘴，所述有机溶剂喷嘴设置于所述匀胶吸片台上放置的衬底的下方，用于喷射有机溶剂至所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面，清洗所述衬底朝向所述匀胶吸片台的一面上的胶体。
8.根据权利要求7所述自动匀胶设备，其特征在于，所述有机溶剂喷嘴复用为所述冷却喷嘴。
9.根据权利要求1所述自动匀胶设备，其特征在于，还包括：上料模块和机械手臂；
所述上料模块用于存储待匀胶的衬底；所述机械手臂用于传递所述待匀胶的衬底至所述匀胶模块中的匀胶吸片台上。
10.根据权利要求9所述自动匀胶设备，其特征在于，还包括：固化模块，所述固化模块包括热盘和冷盘；
所述机械手臂还用于将所述衬底在所述匀胶吸片台、所述热盘和所述冷盘之间传递，所述热盘用于烘烤固化所述衬底上的胶体，所述冷盘用于冷却所述热盘固化完成的衬底。
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