[实用新型]一种废液自动回收装置

权利要求书

1.一种废液自动回收装置，其特征在于：配合蚀刻设备使用，包括回收通道(1)、气动阀(2)、第一电磁阀(3)、第一压空管道(4)、中间收集罐(5)、液位传感器(6)、气动隔膜泵(7)、第二电磁阀(8)、第二压空管道(9)、输送管道(10)、收集罐(11)和控制器(12)；

所述回收通道(1)的一端与蚀刻设备的废液出口密封连通，另一端通过气动阀(2)与所述中间收集罐(5)的上端入口密封连通，且所述气动阀(2)的启动控制端通过第一电磁阀(3)与所述第一压空管道(4)密封连通；

所述中间收集罐(5)内设有液位传感器(6)；

所述气动隔膜泵(7)的入口通过输送管道(10)与所述中间收集罐(5)的下端出口密封连通，该气动隔膜泵(7)的出口通过输送管道(10)与所述收集罐(11)的上端入口密封连通，且所述气动隔膜泵(7)的气动控制端通过第二电磁阀(8)与所述第二压空管道(9)密封连通；

所述液位传感器(6)、第一电磁阀(3)和第二电磁阀(8)均与所述控制器(12)信号连接。

2.根据权利要求1所述的废液自动回收装置，其特征在于：还包括空气压缩机，所述空气压缩机与所述控制器(12)信号连接，且该空气压缩机的出口与所述第一压空管道(4)和第二压空管道(9)分别密封连通。

3.根据权利要求1所述的废液自动回收装置，其特征在于：所述气动阀(2)为失气开气动阀，该气动阀(2)处于常开状态。

4.根据权利要求1所述的废液自动回收装置，其特征在于：还包括液位警报器，所述液位警报器与所述控制器(12)信号连接。

5.根据权利要求4所述的废液自动回收装置，其特征在于：所述液位警报器为蜂鸣器。