[实用新型]一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置

权利要求书

1.一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：双端固支梁耦合感测阵列与参考梁并排布置，且该双端固支梁耦合感测阵列和参考梁的一端分别与滑动块内侧固连，该双端固支梁耦合感测阵列和参考梁的另一端分别与固定块的一边固连，该固定块的另一边与折叠弹簧固定连接，该折叠弹簧的矩形端部内嵌于外壳的尾槽中，该固定块的另外两个对边还分别通过固连的四个勾型结构与外壳的卡槽卡接，该滑动块的外侧与预压弹簧的内侧紧密贴合，该预压弹簧的外侧紧贴于外壳的内侧面，方形叠堆式压电致动器内嵌于该预压弹簧中间的方槽中，各压电片串联结构分别沉积于双端固支梁耦合感测阵列和参考梁靠近固定块一侧的根部上方，各压电片分别沉积于双端固支梁耦合感测阵列和参考梁靠近滑动块一侧的根部上方；非敏感薄膜沉积于参考梁以及双端固支梁耦合感测阵列中的第三根双端固支梁中部方形结构的上表面，对A种气体敏感的薄膜沉积于双端固支梁耦合感测阵列的第二根双端固支梁方形结构的上表面，对B种气体敏感薄膜沉积于双端固支梁耦合感测阵列的第一根双端固支梁方形结构的上表面；热电阻丝沉积于外壳基底上的凸出块的上表面，且该热电阻丝只位于双端固支梁耦合感测阵列中的第一根双端固支梁和第二根双端固支梁的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：所述双端固支梁耦合感测阵列的结构是：三根双端固支梁并排排布，其中第一根双端固支梁与第二根双端固支梁之间由耦合结构一连接，第二根双端固支梁与第三根双端固支梁之间由耦合结构二连接。

3.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：所述的参考梁的等效质量和等效刚度与双端固支梁耦合感测阵列中的每根双端固支梁相同。

4.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：所述压电片串联结构是通过分割方式获得，所述分割方式为竖直分割，水平分割，以及垂直对角线分割，将分割后的各部分压电片串联。

5.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：所述非敏感薄膜的质量、对A种气体敏感的薄膜的质量和对B种气体敏感薄膜的质量三者相同。

6.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：所述预压弹簧的结构是：两根折叠弹簧并行排布，并在结构的中心位置开一个方槽。

7.根据权利要求1所述的一种基于模态局部化的谐振式气体感测装置，其特征在于：所述方形叠堆式压电致动器为多片压电陶瓷片粘连烧结而成，从内至外分别为绝缘陶瓷片一、压电陶瓷作动器、绝缘陶瓷片二，由绝缘胶封装。