[实用新型]一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统

权利要求书

1.一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，包括：

臭氧供给系统，用于供给设定臭氧浓度的臭氧混合气体；

离线氧化腔体(1)，为与所述臭氧供给系统相连的封闭容器；

所述离线氧化腔体(1)用于承载从生产线取下的硅片，所述硅片在所述离线氧化腔体内反应形成二氧化硅膜。

2.根据权利要求1中所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，包括放置所述硅片的承载盒，所述离线氧化腔体(1)设有多个可分别取出的所述承载盒。

3.根据权利要求2中所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，所述承载盒在所述离线氧化腔高度方向上分层设置，所述离线氧化腔体(1)从顶部通入所述臭氧混合气体，底部设有过量气体排放管路(2)。

4.根据权利要求3中所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，还包括空气吹扫管路(3)，用于对所述离线氧化腔体(1)进行粉尘吹扫。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，所述臭氧供给系统包括气体混合器(5)以及与所述气体混合器(5)两输入端连接的臭氧发生器(4)和压缩空气输入装置；所述臭氧发生器(4)生成臭氧后输入所述气体混合器(5)，所述压缩空气输入装置向所述气体混合器(5)输入压缩空气，所述气体混合器(5)将空气与臭氧混合成适量臭氧浓度的所述臭氧混合气体通过输出端输出至所述离线氧化腔体(1)。

6.根据权利要求5所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，还包括臭氧浓度监测系统，所述臭氧浓度检测系统包括设置于臭氧浓度检测装置(6)、警报装置和臭氧浓度调节装置；所述臭氧浓度检测装置设置于所述气体混合器(5)的所述输出端。