[实用新型]小流量自动稳压气源系统

权利要求书

1.小流量自动稳压气源系统，其特征在于，包括气源（1），所述一端连通有气液分离器（2），所述气液分离器（2）另一端连通有精密调压阀（3），所述精密调压阀（3）另一端连通有电磁阀（4），所述电磁阀（4）另一端分别连通有三个不同流量范围的质量流量控制器（5），三个所述的质量流量控制器（5）另一端分别连通有不同容积的缓冲罐（6），三个所述缓冲罐（6）通过另一端均和一个出气口（7）连通。

2.根据权利要求1所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，所述气源（1）一端连通有储气罐（8），所述储气罐（8）另一端连通有气液分离器（2）。

3.根据权利要求1所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，所述气源（1）由空气压缩机提供。

4.根据权利要求1所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，三个所述的质量流量控制器（5）分别为小质量流量控制器（9）、中质量流量控制器（10）、大质量流量控制器（11），所述的小质量流量控制器（9）的流量范围为0～100mL/min，所述的中质量流量控制器（10）的流量控制范围为0～2000mL/min，所述的大质量流量控制器（11）的流量控制范围为0～15000mL/min。

5.根据权利要求4所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，三个所述的缓冲罐（6）分别为容积为1L的小缓冲罐（12）、容积为2L的中缓冲罐（13）、容积为4L的大缓冲罐（14）。

6.根据权利要求5所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，所述的小质量流量控制器（9）另一端连通有小缓冲罐（12），所述的中质量流量控制器（10）另一端连通有中缓冲罐（13），所述的大质量流量控制器（11）另一端连通有大缓冲罐（14）。

7.根据权利要求6所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，所述的小质量流量控制器（9）、中质量流量控制器（10）、大质量流量控制器（11）、电磁阀（4）均电性连接有上位机（15）。

8.根据权利要求7所述的小流量自动稳压气源系统，其特征在于，所述的气源（1）和储气罐（8）、储气罐（8）和气液分离器（2）、气液分离器（2）和精密调压阀（3）、精密调压阀（3）和电磁阀（4）、电磁阀（4）和三个所述的质量流量控制器（5）、三个所述的质量流量控制器（5）和三个所述的缓冲罐（6）、三个所述的缓冲罐（6）和出气口（7）之间均通过快速接头（16）和气管连通。