[实用新型]一种全自动探针检测台及其移动标靶式探针定位模组

权利要求书

1.一种移动标靶式探针定位模组，其特征在于，包括探针检测盒(26)，所述探针检测盒(26)上设置有：

高倍光源检测模块(21)，用于识别探针的精确位置坐标；

低倍光源检测模块(22)，用于初步识别探针的位置坐标；

CCD图像传感器(24)，将采集到图像转化为数字全自动探针台信号；

光路切换模块(23)，将高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)与CCD图像传感器(24)连接；

和标靶调节模块(25)，用于辅助定位，

所述标靶调节模块(25)包括标靶固定座(251)、滑动连接在标靶固定座(251)上的对位标靶(253)以及驱动对位标靶(253)移动的驱动件。

2.根据权利要求1所述的移动标靶式探针定位模组，其特征在于，所述驱动件为标靶驱动气缸(252)，标靶驱动气缸(252)运动过程中，对位标靶(253)分别经过低倍光源检测模块(22)和高倍光源检测模块(21)前。

3.根据权利要求2所述的移动标靶式探针定位模组，其特征在于，所述对位标靶(253)包括滑动块和固定在滑动块上的靶体，所述靶体上设置有标记孔。

4.根据权利要求3所述的移动标靶式探针定位模组，其特征在于，所述标靶固定座(251)上固定有滑动轨，所述滑动块上开有对应的滑槽。

5.根据权利要求2所述的移动标靶式探针定位模组，其特征在于，所述标靶驱动气缸(252)设置于标靶固定座(251)的侧面，靶体上设置有与标靶驱动气缸(252)输出端连接的标靶驱动块。

6.根据权利要求2所述的移动标靶式探针定位模组，其特征在于，所述高倍光源检测模块(21)包括的高倍环形光源(213)、高倍点光源(211)、高倍点光源(211)分光镜和高倍镜头(214)，高倍环形光源(213)的中心开设有高倍出射孔，所述高倍点光源(211)分光镜将高倍点光源(211)射出的光线引导至高倍出射孔，标记孔的运动路径经过高倍出射孔远离探针检测盒(26)一端。

7.根据权利要求2所述的移动标靶式探针定位模组，其特征在于，所述低倍光源检测模块(22)包括低倍环形光源(223)、低倍点光源(221)、低倍点光源(221)分光镜和低倍镜头(224)，所述低倍环形光源(223)的中心设置有低倍出射孔，所述低倍点光源(221)分光镜将低倍点光源(221)射出的光线引导至低倍出射孔，标记孔的运动路径经过高倍出射孔远离探针检测盒(26)一端。

8.一种全自动探针检测台，其特征在于：包括机体(4)、滑动连接在机体(4)内的工作台(3)、机盖、连接在机盖上的探针卡，滑动连接在机体(4)内的芯片定位模组(1)和权利要求1～7任意一项所述的移动标靶式探针定位模组(2)。

9.根据权利要求8所述的全自动探针检测台，其特征在于，所述芯片定位模组(1)包括高倍镜模块(12)、低倍镜模块(11)、芯片光路模块(13)以及高度探测模块(14)，芯片光路模块(13)包括高倍镜入口，高倍镜入口前设置有第一换向棱镜，第一换向棱镜的出射端设置有第二换向棱镜，第二换向棱镜的出射端设置有发射棱镜，低倍镜入口朝向发射棱镜，发射棱镜的出射方向竖直向下。