[实用新型]一种喷气式单晶硅片干燥装置

权利要求书

1.一种喷气式单晶硅片干燥装置，包括壳体，其特征在于，所述壳体的中心设有喷气柱，喷气柱固定安装于主轴上，主轴的顶部通过轴承连接壳体，并贯穿壳体的顶部，壳体的顶部通过电机座安装第一电机，第一电机的输出轴上设有第一主动齿轮，该第一主动齿轮与主轴上安装的第一从动齿轮啮合；主轴为空心轴，中心设有圆柱形空腔，主轴的顶端通过旋转接头连接供气管，喷气柱表面均匀分布有数个通气孔，通气孔连通主轴中心的圆柱形空腔；喷气柱外周的壳体内设有数个筒体，均匀环形阵列分布，筒体表面开有数个均匀分布的小通孔，筒体的内部设有数个隔板，等距分布，隔板之间设有间隙，隔板整体呈环形，筒体的两端设有端盖，端盖设于筒体内部，筒体两端的端盖的外侧中心均固连一个旋转轴；筒体顶部的旋转轴通过轴承连接壳体的顶部，筒体底部的旋转轴通过轴承连接壳体的底部，并且向下延伸到壳体的下方，筒体底部的旋转轴的底部安装第二从动齿轮，数个旋转轴上的第二从动齿轮与同一个第二主动齿轮啮合，该第二主动齿轮安装于第二电机的输出轴上。

2.根据权利要求1所述的一种喷气式单晶硅片干燥装置，其特征在于，所述筒体分为左右对称设置的两部分，其中右半部分筒体与端盖固连，左半部分筒体通过螺丝与端盖连接，筒体的左右两侧分别设有一个窗口，窗口上设有窗门。

3.根据权利要求1所述的一种喷气式单晶硅片干燥装置，其特征在于，所述供气管连接热风机。

4.根据权利要求1所述的一种喷气式单晶硅片干燥装置，其特征在于，所述主轴上设有通孔，该通孔分别连通圆柱形空腔和通气孔。

5.根据权利要求1所述的一种喷气式单晶硅片干燥装置，其特征在于，所述壳体的底部设有排水口，并设有阀门。

6.根据权利要求1所述的一种喷气式单晶硅片干燥装置，其特征在于，所述壳体整体呈圆筒形。

7.根据权利要求1所述的一种喷气式单晶硅片干燥装置，其特征在于，所述喷气柱设计为圆台形，上端直径大于下端直径。