[实用新型]一种防漏气靶材包套的结构有效
| 申请号: | 201821342765.3 | 申请日: | 2018-08-20 |
| 公开(公告)号: | CN208917291U | 公开(公告)日: | 2019-05-31 |
| 发明(设计)人: | 徐信森;位峰;温春雨;张飞;左振皋;丛蓉;位江岩;陈兴友 | 申请(专利权)人: | 山东格美钨钼材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 264200 山东省威海*** | 国省代码: | 山东;37 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 底板 靶材 靶材本体 安装座 防漏气 包套 固定机构 固定支架 连接板 本实用新型 活动连接有 顶部设置 焊缝位置 使用位置 焊缝 固定板 固定环 固定扣 铰接块 卡槽卡 位移杆 卡块 内壁 优化 | ||
本实用新型涉及靶材技术领域,且公开了一种防漏气靶材包套的结构,包括底板,所述底板的顶部固定连接有安装座,所述安装座的顶部设置有靶材本体,所述底板的顶部左右两端均固定连接有连接板,两个连接板的相对侧均固定连接有固定支架,两个固定支架的内壁均活动连接有调节机构,两个调节机构的相对侧均固定连接有固定机构,所述固定机构与靶材本体接触。该防漏气靶材包套的结构,通过底板和安装座的配合使用可以使靶材本体的放置更加方便,通过铰接块和位移杆的配合使用可以调节固定环的使用位置,通过固定扣和固定板的配合使用可以根据实际的情况在调节完成之后将卡块与卡槽卡接固定,使其固定更加的稳定,可以尽量减少焊缝的数量,优化焊缝位置。
技术领域
本实用新型涉及靶材技术领域,具体为一种防漏气靶材包套的结构。
背景技术
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源,简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应,例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等,更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
在信息存储产业中,磁性存储器的存储容量不断增加,新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需靶材的质量提出了越来越高的要求,需求数量也逐年增加,由于目前在靶材包套焊缝越多则漏气风险就越大,包套结构多样,其基本目地就是尽量减少焊缝的数量,优化焊缝位置,使包套漏气风险降低,因此我们提出了一种防漏气靶材包套的结构来解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种防漏气靶材包套的结构,具备靶材包套更加稳定和安全等优点,解决了在靶材包套焊缝越多则漏气风险就越大包套不方便的问题。
(二)技术方案
为实现上述靶材包套更加稳定和安全目的,本实用新型提供如下技术方案:一种防漏气靶材包套的结构,包括底板,所述底板的顶部固定连接有安装座,所述安装座的顶部设置有靶材本体,所述底板的顶部左右两端均固定连接有连接板,两个连接板的相对侧均固定连接有固定支架,两个固定支架的内壁均活动连接有调节机构,两个调节机构的相对侧均固定连接有固定机构,所述固定机构与靶材本体接触。
优选的,所述调节机构包括调节环,所述调节环与固定机构固定连接,所述调节环的侧面转动连接有调节杆,两个调节杆远离调节环的一端铰接有铰接座,两个铰接座远离调节杆的一端均固定连接有调节板,所述调节板远离铰接座的一端固定连接有弹性垫。
优选的,所述固定支架的内壁顶部和底部均开设有活动槽,活动槽的内壁与调节板滑动连接,所述弹性垫与活动槽固定连接。
优选的,所述固定机构包括数量为两个的连接块,两个连接块均与固定支架滑动连接,两个连接块的相对面均固定连接有铰接块,两个铰接块的表面均交接有位移杆,两个位移杆远离铰接块的一端转动连接有活动环,所述活动环的表面转动连接有数量为两个的固定环。
优选的,所述固定环的远离左侧连接块的一端固定连接有固定扣,右侧所述固定环远离右侧连接块的一端固定连接有固定板,所述固定板靠近固定扣的一侧开设有卡槽,所述固定扣对应卡槽的一侧固定连接有卡块,所述卡块与卡槽卡接。
优选的,所述卡槽的数量为四个,且四个卡槽从左至右依次等距离排列,所述卡块的顶部为倾斜面弹性块。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种防漏气靶材包套的结构,具备以下有益效果:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东格美钨钼材料股份有限公司,未经山东格美钨钼材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821342765.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种磁控溅射连续镀膜设备
- 下一篇:一种镜片镀膜板安装组件
- 同类专利
- 专利分类





