[实用新型]一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备

说明书

本实用新型公开了一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。本实用新型能够自动完成硅油净化、充油等一系列的工艺过程，并保证硅油净化、充灌过程中所需要的温度、真空等一系列的工艺条件，实现连续生产。

技术领域

本实用新型涉及一种自动硅油充油设备，尤其涉及的是一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备。

背景技术

扩散硅充油芯体具有较高的可靠性和精度，适宜于制造高精度的压力传感器，在工业控制、工程机械等领域均有广泛应用。扩散硅充油芯体的核心元器件是一颗扩散硅MEMS芯片，此芯片能够感受外界压力并转换为电压输出，但是此芯片较为脆弱，不耐灰尘、酸碱腐蚀。充油芯体的外部封装结构，利用波纹膜片及金属基座将扩散硅芯片密封起来，并填充硅油传导外部压力，从而使得整个传感器耐酸碱腐蚀，能够可靠的在各种恶劣工况下工作。充油是扩散硅充油芯体制造过程中的关键一道工艺，需要保证提前对硅油进行净化处理，并且严格保证充灌过程的真空度，否则如果硅油中混入空气、水汽等杂质，会导致传感器出现严重的温漂和非线性，降低传感器的性能。传统充油过程繁琐，需要手工处理，生产过程需要分部处理，不能有效得控制工艺过程中的温度、真空等条件，生产效率低下，导致制造成本居高不下，难以应用到大规模生产。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于：现有技术无法连续自动的进行充油，提供了一种用于扩散硅充油芯体的自动批量充油设备。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本实用新型包括硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔和真空系统，所述硅油净化腔包括净化腔体和设置在净化腔体内的加热棒，所述上料腔包括设置在上料腔内的第一闸门、第一电机、第一传送带；所述充油腔包括设置在充油腔内的第二闸门、第二电机和第二传送带；所述下料腔包括设置在下料腔内的第三闸门、第三电机、第三传送带，第四电机和第四闸门；所述真空系统包括分子泵、机械泵和对应的管道阀门；所述上料腔、充油腔、下料腔依次设置，所述第一电机带动第一闸门开关，第二电机带动第二闸门开关，第三电机带动第三电机开关，第四电机带动第四闸门开关，所述第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门对上料腔、充油腔、下料腔进行相互隔离和连通，所述机械泵和分子泵分别连通硅油净化腔、上料腔、充油腔、下料腔。

作为本实用新型的优选方式之一，所述上料腔上设置有第一真空阀和第一泄压阀，所述下料腔上设置有第二真空阀和第二泄压阀，第一真空阀和第二真空阀连入真空系统。

作为本实用新型的优选方式之一，所述充油腔上设置有第三真空阀和第四真空阀，第三真空阀连通分子泵。

作为本实用新型的优选方式之一，所述第一传送带、第二传送带和第三传送带分别连接有第一步进电机、第二步进电机和第三步进电机。

作为本实用新型的优选方式之一，所述上料腔、充油腔、下料腔上分别设有观察窗。

作为本实用新型的优选方式之一，所述充油设备还设置有带有充油芯体的托盘。

本实用新型相比现有技术具有以下优点：本实用新型能够自动完成硅油净化、充油等一系列的工艺过程，并保证硅油净化、充灌过程中所需要的温度、真空等一系列的工艺条件，实现连续生产，大大提高扩散硅充油芯体的生产效率，实现扩散硅充油芯体的自动、批量生产。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式