[实用新型]一种半导体晶片的检测装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体晶片的检测装置，包括转台、检测盒、固定槽、橡胶吸头、安装台、光路收集装置、投射灯、环形滑轨、环形滑槽、基座、操作槽、橡胶气囊、气管、环形齿条、磁铁片、转动电机和齿轮，所述基座上表面中心处固定有安装台，所述基座上表面位于安装台外侧套有转台，所述安装台外侧固定有环形滑轨，此半导体晶片检测装置，通过橡胶气囊的形变恢复力，对晶片产生吸附力，实现固定，取出晶片时，用手按压橡胶气囊，方便的取出，提高晶片的安装与拆卸的便捷度，加快检测速度，同时检测盒为黑色塑料盒检测盒将被检测晶片遮住，黑色吸收其他光源，避免干扰检测的效果，提高检测精度。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片检测技术领域，具体为一种半导体晶片的检测装置。

背景技术

半导体晶片多为半导体硅晶片，硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，地壳成分中27.8％是硅元素构成的，其次是氧元素，硅是自然界中最丰富的元素，半导体晶片生产完成后需要进行反射率测量和荧光测量等，普通的测量装置对晶片的固定比较麻烦，而且检测效率较低，为此，我们提出一种半导体晶片的检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体晶片的检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶片的检测装置，包括转台、检测盒、固定槽、橡胶吸头、安装台、光路收集装置、投射灯、环形滑轨、环形滑槽、基座、操作槽、橡胶气囊、气管、环形齿条、磁铁片、转动电机和齿轮，所述基座上表面中心处固定有安装台，所述基座上表面位于安装台外侧套有转台，所述安装台外侧固定有环形滑轨，所述转台外侧固定有环形滑槽，且环形滑轨与环形滑槽滑动连接，所述转台底面边缘处固定有环形齿条，所述基座一侧安装有转动电机，所述转动电机输出轴固定有齿轮，且齿轮与环形齿条啮合连接，所述转台上表面均匀开设有固定槽，所述转台侧面位于固定槽对应位置开设有操作槽，所述操作槽顶部安装有气管，且气管远离操作槽一端与固定槽连通，所述固定槽底部中心处设有橡胶吸头，且橡胶吸头与气管端口固定连接，所述操作槽内设有橡胶气囊，且橡胶气囊与气管端口固定连接，所述安装台上表面一侧转动安装有检测盒，且检测盒位于固定槽正上方，所述检测盒内部顶端转动安装有光路收集装置和投射灯，所述检测盒下表面与安装台上表面对应固定有磁铁片。

优选的，所述检测盒一侧安装有把手。

优选的，所述检测盒为黑色塑料盒。

优选的，所述检测盒内部顶面对称固定有转座，且光路收集装置和投射灯分别通过紧固螺栓与转座转动连接，所述紧固螺栓端部啮合连接有紧固螺帽。

优选的，所述固定槽内标记有定位标记，且定位标记与固定槽位置同心。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型手捏橡胶气囊，并且留有一些气，将半导体晶片放置到固定槽内的橡胶吸头顶部，与定位标记对比确保放置稳妥，松开橡胶气囊，开启转动电机转动，通过齿轮与安装台啮合连接，带动转台间歇转动，晶片转到检测盒下方时，投射灯对晶片投射光线，光路收集装置获取到晶片的光强与光谱信息，再传输给外部的计算机进行分析并得到该晶片的光强、光谱数据图，此半导体晶片检测装置，通过橡胶气囊的形变恢复力，对晶片产生吸附力，实现固定，取出晶片时，用手按压橡胶气囊，方便的取出，提高晶片的安装与拆卸的便捷度，加快检测速度。

2、本实用新型当光路收集装置和投射灯角度有偏差时，通过把手克服磁铁片的吸引力，将检测盒翻转，然后将紧固螺栓松动，对光路收集装置和投射灯进行角度调节，再拧紧紧固螺栓，将检测盒关闭，光路收集装置和投射灯的调节方便，同时检测盒为黑色塑料盒检测盒将被检测晶片遮住，黑色吸收其他光源，避免干扰检测的效果，提高检测精度。

附图说明

图1为本实用新型整体俯视结构示意图；