[实用新型]一种单晶硅棒生产用长度测量装置有效

专利信息
申请号: 201821267258.8 申请日: 2018-08-03
公开(公告)号: CN208419812U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 贠书印;罗园;高贻刚;李一得 申请(专利权)人: 内蒙古赛宝伦科技有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 010000 内蒙古自治区呼和浩特市经济技术开发区沙*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 主支柱 单晶硅棒 滑块架 长度测量装置 本实用新型 限位环 生产 生产工艺过程 单晶硅 数码显示器 压力传感器 等径生长 工作平面 滑动安装 结构构造 上方位置 校零装置 形状规则 压力弹簧 圆柱主体 晶体硅 外侧壁 外侧端 上端 硅棒 拉升 平齐 上套 提板 中段 锥尖 测量 垂直 保证
【权利要求书】:

1.一种单晶硅棒生产用长度测量装置,包括主支柱(1),其特征在于,所述主支柱(1)的一侧放置有生产台(2),所述主支柱(1)的中段外侧壁上套接有限位环(3),所述限位环(3)的上端与生产台(2)的水平工作平面平齐,所述限位环(3)的上方位置设置有滑块架(4),所述滑块架(4)滑动安装在主支柱(1)的外侧端,所述主支柱(1)的顶部末端固定安装有圈垫(6),所述圈垫(6)的上表面固定安装有校零旋钮(7),所述圈垫(6)的下方位置设置有数码显示器(8),所述数码显示器(8)的一端固定安装在主支柱(1)上部的外侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用长度测量装置,其特征在于,所述滑块架(4)的一端通过固定销水平安装连接提板(9)的一侧,所述提板(9)的下表面固定连接有牵拉套索(11)的上端,所述牵拉套索(11)的下端固定连接在单晶硅棒(10)的上端中央位置。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒生产用长度测量装置,其特征在于,所述生产台(2)的上端中央设置有单晶熔槽(16),所述单晶熔槽(16)的上方正对着单晶硅棒(10)的出尖端头。

4.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅棒生产用长度测量装置,其特征在于,所述滑块架(4)的一侧设置有固定旋钮(5),所述数码显示器(8)的前表面设置有数码显示屏。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒生产用长度测量装置,其特征在于,所述主支柱(1)上段部分内部空间内安装有压力弹簧(12),所述压力弹簧(12)的上端固定在上端台(13)的下表面上,所述压力弹簧(12)的下端固定在下端台(17)的上表面上,所述下端台(17)的下表面固定安装在滑块架(4)的上表面上。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅棒生产用长度测量装置,其特征在于,所述上端台(13)的上方空间内设置有压力传感器(14),所述圈垫(6)的中心轴上固定安装有螺纹杆(15),所述螺纹杆(15)的上端固定连接在校零旋钮(7)的下表面上,下端固定连接在上端台(13)的中心上,所述压力传感器(14)的一侧正对着数码显示器(8)。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅棒生产用长度测量装置,其特征在于,所述螺纹杆(15)的外侧壁上设置有旋转式的微调螺纹,所述压力传感器(14)的信号输出端与数码显示器(8)的数码显示屏输入端电性连接。

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