[实用新型]一种化学气相沉积炉的支承装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，包括用于交替对基体进行支承的交替支承机构，所述交替支承机构包括至少两组支承件和用于驱动支承件交替支承基体的交替驱动机构；

其中，所述交替驱动机构包括至少两个设置在支承板上呈环形的滑槽以及用于驱动支承件在滑槽中移动的动力机构；所述滑槽包括支承段和交替段，所述交替段的高度低于支承段的高度；每组支承件至少包括两个支承件，且沿着圆周方向均匀分布在滑槽的上方；

当支承件的下端移动至支承段时，其上端支承在基体的下端面，当支承件的下端移动至交替段时，其上端远离基体；工作时，至少有一组支承件位于支承段上。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，还包括多个用于防止基体离心甩出的挡杆。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述挡杆为三个，且沿着圆周的方向均匀设置。

4.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述挡杆的竖向投影呈半圆形结构。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述动力机构包括连接在挡杆之间的驱动臂和用于驱动挡杆进行自转运动的自转轮；

所述支承件通过滑动轴套穿过驱动臂并竖向延伸在支承板的上方。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述自转轮设置在挡杆的下方，下端设有自转齿轮；所述自转齿轮与转盘固定连接且同心的固定齿轮啮合。

7.根据权利要求6所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述自转轮的底端通过轴向轴承连接在转盘上；所述支承板的下端通过固定柱穿过自转轮的转动中心和转盘往下延伸，并固定在转盘上。

8.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述支承件的顶端和底端均设有滚球。

9.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的支承装置，其特征在于，所述支承件为两组，每组包括三个支承件；所述滑槽为两个，其中的支承段和交替段均为三个；

沿着径向的方向，两个滑槽中的交替段交错设置。