[实用新型]一种用于更换片状硅阵列的装置

说明书

本实用新型提供一种用于更换片状硅阵列的装置，包括下底座和上盖两部分，其中下底座的顶部一侧设有一凸台，凸台中心设有一深孔，凸台侧面有一内螺纹孔孔，上盖上表面有沿直径方向排列的2个宽度不同的槽，宽度小的槽深度浅，宽度大的槽为燕尾槽。本实用新型很好的解决了由于片状硅阵列尺寸小在更换时不能单人操作和更换过程中容易损坏片状硅阵列的问题。

技术领域

本实用新型涉及三维原子探针设备领域，尤其涉及一种用于更换片状硅阵列的装置。

背景技术

三维原子探针是一种原子尺度的高空间分辨率的材料表征技术。该技术可以提供材料在小体积中精确的成分信息，其应用范围从传统金属材料到半导体纳米电子器件，并逐渐扩展到有机和生物材料，对研究开发新材料有重要意义。

三维原子探针实现对微区的精确成分分析，其样品的制备极为关键。如何装载和放置这些样品进入分析室为重中之重。现在我们利用片状硅阵列来解决这一问题。片状硅阵列上有22或者36个预置硅柱，它们之间相隔足够远，并且整体片状硅阵列的尺寸合适，可以用铜夹子夹持在平台上，然后将铜夹子放入合适的位置，进行三维原子探针数据采集工作。

利用片状硅阵列放置样品的方法是将小块样品放置于底座上，然后进行环形切，最后成功制备三维原子探针针尖样品。这种方法的优点是，可一次性装载多个样品进入三维原子探针的分析室。但是在这种方法中硅阵列为易消耗品，当每次进行环形切割制成样品后，硅柱就已经使用了，不能再进行重生和再次利用。因此，当所有硅柱都用完之后，需要进行片状列的更换操作。

传统的更换片状硅阵列的操作方法需要两个人相互配合，一人固定并打开铜夹子并保持铜夹子打开状态，一人进行硅阵列的更换操作。由于硅阵列尺寸极小，故操作容易失误。若造成操作失误，整个硅阵列就无完整的且可以使用的硅柱，造成巨大的经济损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于为提供一种用于更换片状硅阵列的装置。

为了解决上述现有问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种用于更换片状硅阵列的装置，包括下底座和上盖，其中下底座的顶部一侧设有一凸台，凸台中心设有一深孔用于放置铜夹子，凸台侧面设有用于固定铜夹子的内螺纹孔；上盖中心沿直径方向排列的设有2个宽度不同的槽，宽度小的槽深度浅且不穿透上盖表面用于放置片状硅阵列，宽度大的槽为燕尾槽用于卡入下底座凸台与其配合。

进一步的，内螺纹孔为M2。

进一步的，内螺纹孔所用螺钉采用不锈钢制成。

进一步的，上盖厚度为6mm。

进一步的，宽度小的浅槽，其宽度为3mm，深度为1mm。

进一步的，燕尾槽部分分为2部分，与下底座凸台配合部分，宽度为16mm，高度为4mm；与铜夹子进行配合部分，宽度为4.5mm，高度为2mm；保证铜夹子的装载平台与窄浅槽的底部处于同一水平高度。

进一步的，凸台在装载铜夹子后，其总高度要求与上盖厚度一致。

与现有技术相比，本实用新型具有显著优点为：1、该装置在满足更换片状硅阵列的同时，底座的重量使得不需要另一人协助固定底座而保持铜夹子的稳定不移动，而且将旧硅阵列可以平稳安全的从铜夹子中退出，新的硅阵列推入铜夹子中。2、该装置操作简单安全，减小硅阵列掉落带来的经济损失，提高更换片状铜夹子的成功率。

附图说明

图1为本发明装置的下底座的结构示意图。

图2为本发明装置的下底座的三视图。

图3为本发明装置的上盖的结构示意图。

图4为本发明装置的上盖的三视图。