[实用新型]冷却管固定装置

说明书

本实用新型提供一种冷却管固定装置，包括：本体，第一固定结构和第二固定结构，其中本体环绕设置在炉体周围；第一固定结构用于将冷却管固定在本体上；第二固定结构用于将本体固定在炉体上。其在冷却管的安装时，不会破坏冷却管的形状，且能够便捷的对冷却管进行安装，从而提高效率，降低人工成本，利于批量生产。

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种冷却管固定装置。

背景技术

目前，晶圆热处理设备是集成电路制造中的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中的各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。现有的立式热处理设备能够对多张晶圆进行热处理工艺，热处理的热源主要由炉丝发热提供，根据热处理工艺类型的不同，炉体内部的温度可达到几百至一千摄氏度不等，为了防止炉体外部的温度过高而对其周围的电气和机械构件造成不良影响，在炉体的内部设有隔热毯，同时，在炉体的外部设置水冷管。

现有技术中，为了使水冷管具有较好的热传导性能，一般为铜制管，其环绕固定在炉体的外壁上，安装水冷管的方法是至少三个人手持水冷管管体的多个部分，使水冷管大体保持为环形，将其套设在炉体外壁上，然后再利用铆钉或螺钉将水冷管安装在炉体的外壁上。

但是，由于水冷管为铜制管，容易变形，在安装过程中很难将水冷管保持为环形，并且无法对水冷管的安装位置准确定位，而且人工成本较大，效率低，不利于批量生产。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种冷却管固定装置，其在冷却管的安装时，不会破坏冷却管的形状，且能够便捷的对冷却管进行安装，从而提高效率，降低人工成本，利于批量生产。

为实现本实用新型的目的而提供一种冷却管固定装置，包括：

本体，环绕设置在炉体周围；

第一固定结构，用于将所述冷却管固定在所述本体上；

第二固定结构，用于将所述本体固定在炉体上。

优选的，所述第一固定结构包括：

第一固定座，与所述本体连接；

两组第一固定组件，分别设置在所述第一固定座相对的两侧，且与所述第一固定座连接，用于夹持固定所述冷却管。

优选的，每组所述第一固定组件包括：

辅助件，与所述第一固定座连接，且在所述辅助件上设置有第一螺纹孔；

第一螺杆，穿过所述第一螺纹孔，且与所述第一螺纹孔相配合，以使所述第一螺杆的第一端能够靠近或远离所述冷却管；

第一固定件，设置在所述第一螺杆的第一端上，用于夹持固定所述冷却管。

优选的，所述第一固定件能够围绕所述第一螺杆的轴线旋转。

优选的，每组所述第一固定组件还包括第二螺杆；

在所述辅助件中设置有滑槽，所述第二螺杆穿过所述滑槽与所述第一固定座连接，通过使所述第二螺杆在所述滑槽中滑动，使所述第一固定座和所述辅助件相对运动。

优选的，所述第一固定结构还包括滑块，所述滑块与所述第一固定座连接，且在所述本体中沿所述本体的周向设置有滑轨，所述滑块能够沿所述滑轨滑动。

优选的，所述第一固定结构还包括第三螺杆，所述第三螺杆依次穿过所述第一固定座与所述滑块，并与所述第一固定座螺纹连接；通过旋转所述第三螺杆，以使所述滑块与所述滑轨固定，或者使所述滑块能够在所述滑轨中滑动。

优选的，在所述第一固定座中设置有通孔，并在所述通孔中设置有与所述通孔的形状和尺寸相适配的固定块，所述固定块与所述滑块固定连接，所述第三螺杆依次穿过所述固定块与所述滑块，并与所述固定块螺纹连接；