[实用新型]冷却管固定装置有效
| 申请号: | 201821203708.7 | 申请日: | 2018-07-27 |
| 公开(公告)号: | CN208776875U | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
| 发明(设计)人: | 赵宏图;侯建明;邱江虹 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 冷却管 固定结构 固定装置 本实用新型 环绕设置 炉体周围 人工成本 炉体 生产 | ||
1.一种冷却管固定装置,其特征在于,包括:
本体,环绕设置在炉体周围;
第一固定结构,用于将所述冷却管固定在所述本体上;
第二固定结构,用于将所述本体固定在炉体上。
2.根据权利要求1所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定结构包括:
第一固定座,与所述本体连接;
两组第一固定组件,分别设置在所述第一固定座相对的两侧,且与所述第一固定座连接,用于夹持固定所述冷却管。
3.根据权利要求2所述的冷却管固定装置,其特征在于,每组所述第一固定组件包括:
辅助件,与所述第一固定座连接,且在所述辅助件上设置有第一螺纹孔;
第一螺杆,穿过所述第一螺纹孔,且与所述第一螺纹孔相配合,以使所述第一螺杆的第一端能够靠近或远离所述冷却管;
第一固定件,设置在所述第一螺杆的第一端上,用于夹持固定所述冷却管。
4.根据权利要求3所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定件能够围绕所述第一螺杆的轴线旋转。
5.根据权利要求3所述的冷却管固定装置,其特征在于,每组所述第一固定组件还包括第二螺杆;
在所述辅助件中设置有滑槽,所述第二螺杆穿过所述滑槽与所述第一固定座连接,通过使所述第二螺杆在所述滑槽中滑动,使所述第一固定座和所述辅助件相对运动。
6.根据权利要求2所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定结构还包括滑块,所述滑块与所述第一固定座连接,且在所述本体中沿所述本体的周向设置有滑轨,所述滑块能够沿所述滑轨滑动。
7.根据权利要求6所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定结构还包括第三螺杆,所述第三螺杆依次穿过所述第一固定座与所述滑块,并与所述第一固定座螺纹连接;通过旋转所述第三螺杆,以使所述滑块与所述滑轨固定,或者使所述滑块能够在所述滑轨中滑动。
8.根据权利要求7所述的冷却管固定装置,其特征在于,在所述第一固定座中设置有通孔,并在所述通孔中设置有与所述通孔的形状和尺寸相适配的固定块,所述固定块与所述滑块固定连接,所述第三螺杆依次穿过所述固定块与所述滑块,并与所述固定块螺纹连接;
所述通孔的形状满足:限制所述第一固定座相对于所述固定块旋转;
所述滑块与所述滑轨的形状满足:限制所述滑块相对于所述滑轨旋转。
9.根据权利要求1所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第二固定结构具有多组,每组所述第二固定结构包括:
第二固定座,与所述本体连接,且在所述第二固定座中设置有第二螺纹孔;
第四螺杆,设置在所述第二固定座中的第二螺纹孔中,且与所述第二螺纹孔相配合,以使所述第四螺杆的第一端能够靠近或远离所述炉体的外周壁。
10.根据权利要求9所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第四螺杆包括:
微调部,设置在所述第四螺杆的远离所述炉体的第二端,并且所述微调部的外径小于所述第四螺杆的外径,通过旋转所述微调部,能够使所述第四螺杆远离或靠近所述炉体;
刻度,用于表示所述第二固定件的移动距离。
11.根据权利要求1所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述本体由多个分体对接形成,且在每个所述分体上设置有法兰,各个相邻的两个所述分体的法兰通过第二连接件固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司,未经北京北方华创微电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201821203708.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种近化学计量比铌酸锂晶体生长用的坩埚
- 下一篇:一种石英晶片清洗装置





