[实用新型]冷却管固定装置有效

专利信息
申请号: 201821203708.7 申请日: 2018-07-27
公开(公告)号: CN208776875U 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 赵宏图;侯建明;邱江虹 申请(专利权)人: 北京北方华创微电子装备有限公司
主分类号: C30B33/02 分类号: C30B33/02
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 彭瑞欣;张天舒
地址: 100176 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 冷却管 固定结构 固定装置 本实用新型 环绕设置 炉体周围 人工成本 炉体 生产
【权利要求书】:

1.一种冷却管固定装置,其特征在于,包括:

本体,环绕设置在炉体周围;

第一固定结构,用于将所述冷却管固定在所述本体上;

第二固定结构,用于将所述本体固定在炉体上。

2.根据权利要求1所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定结构包括:

第一固定座,与所述本体连接;

两组第一固定组件,分别设置在所述第一固定座相对的两侧,且与所述第一固定座连接,用于夹持固定所述冷却管。

3.根据权利要求2所述的冷却管固定装置,其特征在于,每组所述第一固定组件包括:

辅助件,与所述第一固定座连接,且在所述辅助件上设置有第一螺纹孔;

第一螺杆,穿过所述第一螺纹孔,且与所述第一螺纹孔相配合,以使所述第一螺杆的第一端能够靠近或远离所述冷却管;

第一固定件,设置在所述第一螺杆的第一端上,用于夹持固定所述冷却管。

4.根据权利要求3所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定件能够围绕所述第一螺杆的轴线旋转。

5.根据权利要求3所述的冷却管固定装置,其特征在于,每组所述第一固定组件还包括第二螺杆;

在所述辅助件中设置有滑槽,所述第二螺杆穿过所述滑槽与所述第一固定座连接,通过使所述第二螺杆在所述滑槽中滑动,使所述第一固定座和所述辅助件相对运动。

6.根据权利要求2所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定结构还包括滑块,所述滑块与所述第一固定座连接,且在所述本体中沿所述本体的周向设置有滑轨,所述滑块能够沿所述滑轨滑动。

7.根据权利要求6所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第一固定结构还包括第三螺杆,所述第三螺杆依次穿过所述第一固定座与所述滑块,并与所述第一固定座螺纹连接;通过旋转所述第三螺杆,以使所述滑块与所述滑轨固定,或者使所述滑块能够在所述滑轨中滑动。

8.根据权利要求7所述的冷却管固定装置,其特征在于,在所述第一固定座中设置有通孔,并在所述通孔中设置有与所述通孔的形状和尺寸相适配的固定块,所述固定块与所述滑块固定连接,所述第三螺杆依次穿过所述固定块与所述滑块,并与所述固定块螺纹连接;

所述通孔的形状满足:限制所述第一固定座相对于所述固定块旋转;

所述滑块与所述滑轨的形状满足:限制所述滑块相对于所述滑轨旋转。

9.根据权利要求1所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第二固定结构具有多组,每组所述第二固定结构包括:

第二固定座,与所述本体连接,且在所述第二固定座中设置有第二螺纹孔;

第四螺杆,设置在所述第二固定座中的第二螺纹孔中,且与所述第二螺纹孔相配合,以使所述第四螺杆的第一端能够靠近或远离所述炉体的外周壁。

10.根据权利要求9所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述第四螺杆包括:

微调部,设置在所述第四螺杆的远离所述炉体的第二端,并且所述微调部的外径小于所述第四螺杆的外径,通过旋转所述微调部,能够使所述第四螺杆远离或靠近所述炉体;

刻度,用于表示所述第二固定件的移动距离。

11.根据权利要求1所述的冷却管固定装置,其特征在于,所述本体由多个分体对接形成,且在每个所述分体上设置有法兰,各个相邻的两个所述分体的法兰通过第二连接件固定连接。

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