[实用新型]倒装发光器件同侧测试承载盘、测试系统及测试设备

权利要求书

1.一种倒装发光器件同侧测试承载盘，其特征在于，多个所述倒装发光器件集成于一体以形成晶圆片(4)，所述晶圆片(4)粘附于一透光膜(3)上，所述承载盘(22)包括：

盘体(221)，所述盘体(221)的上表面的部分区域设置有反光面，所述盘体(221)的上表面还有若干围绕所述反光面布置的吸附孔(2211)，所述吸附孔(2211)用于吸附固定所述透光膜(3)；

以及设置于所述盘体(221)的下表面的、用于外接负气压系统(1)的、与所述吸附孔(2211)相连通的气嘴接头(222)。

2.根据权利要求1所述的倒装发光器件同侧测试承载盘，其特征在于，所述反光面具体为一镜面盘(223)的镜面，所述镜面盘(223)卡嵌装配于所述盘体(221)上，所述盘体(221)设有与所述镜面盘(223)卡嵌的嵌槽(2212)，所述盘体(221)上设有环绕所述嵌槽(2212)布置的吸附环槽(2213)，所述吸附孔(2211)设置于所述吸附环槽(2213)的槽底。

3.根据权利要求2所述的倒装发光器件同侧测试承载盘，其特征在于，所述镜面盘(223)的厚度比所述嵌槽(2212)的深度大以使所述反光面相对于所述盘体(221)的上表面凸出设置。

4.根据权利要求3所述的倒装发光器件同侧测试承载盘，其特征在于，所述镜面盘(223)呈圆形状。

5.根据权利要求4所述的倒装发光器件同侧测试承载盘，其特征在于，所述盘体(221)的中间部分设有穿孔以使所述盘体(221)呈圆环形状。

6.根据权利要求5所述的倒装发光器件同侧测试承载盘，其特征在于，所述盘体(221)、所述穿孔、所述镜面盘(223)及所述嵌槽(2212)同轴线对称布置。

7.一种测试系统，其特征在于，包括：

机架(21)；

如权利要求1-6中任一项所述的倒装发光器件同侧测试承载盘(22)；

设置于所述机架(21)上的、供所述承载盘(22)放置的载物台(23)，所述载物台(23)的上表面设置有与所述气嘴接头(222)相适配的、外接一负气压系统(1)的气嘴；

安装于所述机架(21)上的、用于对所述倒装发光器件进行通电以实现测试目的的测试探针(24)；

以及设置于所述机架(21)上的、与所述测试探针(24)均位于所述承载盘(22)的所述反光面同一侧布置的、用于接收经所述反光面斜反射出的光线的收光组件(25)。

8.根据权利要求7所述的测试系统，其特征在于，所述载物台(23)滑动装配于所述机架(21)上，可相对于所述机架(21)横向和/或纵向移动。

9.根据权利要求7所述的测试系统，其特征在于，所述测试探针(24)由一机械手臂所驱动以相对于所述承载盘(22)上下、左右、前后移动。

10.一种测试设备，其特征在于，包括：

如权利要求7-9中任一项所述倒装发光器件测试用的测试系统(2)；

以及由抽真空机(11)和气管(12)组成的负气压系统(1)。