[实用新型]一种基于步进器的光标对准部有效
| 申请号： | 201821174956.3 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN208654546U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 周杰;张琪 | 申请（专利权）人： | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F9/02 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经开区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辅助坐标 显微镜 受光部 控制基板 步进器 光标 对准 微震监测系统 本实用新型 光线识别 快门 校正 叶面 | ||
1.一种基于步进器的光标对准部，其特征在于，包括控制基板(1)、第一显微镜(2)、第二显微镜(3)、微震监测系统受光部(4)、第一交互式CCD相机(5)、第二交互式CCD相机(6)、第一辅助坐标CCD相机(7)、第二辅助坐标CCD相机(8)，所述控制基板(1)底部固定连接有主快门叶面(9)，所述控制基板(1)两侧分别通过所述第一显微镜(2)和所述第二显微镜(3)连接有所述第一辅助坐标CCD相机(7)和所述第二辅助坐标CCD相机(8)，所述第一辅助坐标CCD相机(7)一侧同时设有与所述第一显微镜(2)相连接的所述第一交互式CCD相机(5)、第一辅助坐标受光部(10)和第二辅助坐标受光部(11)，所述第二辅助坐标CCD相机(8)一侧同时设有与所述第二显微镜(3)相连接的所述第二交互式CCD相机(6)、第三辅助坐标受光部(12)和第四辅助坐标受光部(13)，所述主快门叶面(9)上的光信号穿过所述控制基板(1)并延伸至所述微震监测系统受光部(4)上。
2.根据权利要求1所述的一种基于步进器的光标对准部，其特征在于，所述第一交互式CCD相机(5)和所述第一辅助坐标CCD相机(7)中心处均对接校正于所述第一显微镜(2)。
3.根据权利要求1所述的一种基于步进器的光标对准部，其特征在于，所述第二交互式CCD相机(6)和所述第二辅助坐标CCD相机(8)中心处均对接校正于所述第二显微镜(3)。
4.根据权利要求1所述的一种基于步进器的光标对准部，其特征在于，所述主快门叶面(9)上固定连接有与所述主快门叶面(9)相适配的清洁端口(14)。
5.根据权利要求4所述的一种基于步进器的光标对准部，其特征在于，所述清洁端口(14)一侧连接有位于所述第一显微镜(2)和所述第二显微镜(3)之间的光纤检测器。
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