[实用新型]一种真空箱氦气检测装置

说明书

本实用新型的目的在于公开一种真空箱氦气检测装置，它包括一氦气抽走装置和支撑座，所述氦气抽走装置包括一底板，所述底板下部设置有一连接柱，所述连接柱通过底板与所述支撑座相连接，所述支撑座与所述底板的配合面之间的连接孔均设置有导气槽；与现有技术相比，当工件有轻微的泄漏时，真空箱内部的气体可通过连接柱排空，能够更精确的检测工件是否泄漏，从而实现减低本底的作用，不会影响本底，实现本实用新型的目的。

技术领域

本实用新型涉及一种氦气检测装置，特别涉及一种适用于氦检设备的真空箱氦气检测装置。

背景技术

随着经济的发展，环保问题已经成为当代社会的一个重要课题，许多产品的泄露也成为了环保问题日益严峻的原因之一，在这种情况下检漏是必然要进行的。

氦检由于其可以精确的测量出产品漏率且检测的覆盖范围较宽，已经成为了主要的检测方法。

由于我国氦检技术还不成熟，现有的氦检设备由于各种问题，其在检测时，并不理想。

因此，特别需要一种真空箱氦气检测装置，以解决上述现有存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空箱氦气检测装置，针对现有技术的不足，可以较好的降低氦检时设备的本底，能够更精确的检测工件是否泄漏。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种真空箱氦气检测装置，其特征在于，它包括一氦气抽走装置和支撑座，所述氦气抽走装置包括一底板，所述底板下部设置有一连接柱，所述连接柱通过底板与所述支撑座相连接，所述支撑座与所述真空箱的配合面之间的连接孔均设置有导气槽。

在本实用新型的一个实施例中，所述连接柱通过底板上的连接口与所述支撑座相连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述支撑座内设置有堵头和隔套，实现对工件的密封。

在本实用新型的一个实施例中，所述连接柱与所述底板内部的孔相连接，所述底板内部的孔与所述支撑座内部的堵头和隔套相连接。

本实用新型的真空箱氦气检测装置，与现有技术相比，当工件有轻微的泄漏时，真空箱内部的气体可通过连接柱排空，能够更精确的检测工件是否泄漏，从而实现减低本底的作用，不会影响本底，实现本实用新型的目的。

本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为本实用新型的真空箱氦气检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型的支撑座的结构示意图。

图中，1-连接柱，2-堵头，3-隔套，4-工件，5-支撑座，6-底板，7-真空箱，8-导气槽。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例

如图1和图2所示，本实用新型的真空箱氦气检测装置，它包括一氦气抽走装置和支撑座5，所述氦气抽走装置包括一底板6，底板6下部设置有一连接柱1，连接柱1通过底板6与支撑座5相连接，支撑座5与真空箱7的配合面之间的连接孔均设置有导气槽8。

导气槽8的作用是在抽空时真空箱7内部的气体可以通过导气槽8被抽出，从而实现减低本底的作用。

在本实施例中，连接柱1通过底板6上的连接口与支撑座5相连接。