[实用新型]一种真空箱氦气检测装置有效
| 申请号： | 201821137686.9 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN208579882U | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张和毅;郭西送 | 申请（专利权）人： | 上海贤日测控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201611 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 底板 连接柱 支撑座 氦气检测装置 本实用新型 抽走装置 真空箱 氦气 泄漏 底板下部 检测工件 导气槽 连接孔 配合面 排空 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空箱氦气检测装置，其特征在于，它包括一氦气抽走装置和支撑座，所述氦气抽走装置包括一底板，所述底板下部设置有一连接柱，所述连接柱通过底板与所述支撑座相连接，所述支撑座与所述真空箱的配合面之间的连接孔均设置有导气槽。
2.如权利要求1所述的真空箱氦气检测装置，其特征在于，所述连接柱通过底板上的连接口与所述支撑座相连接。
3.如权利要求1所述的真空箱氦气检测装置，其特征在于，所述支撑座内设置有堵头和隔套。
4.如权利要求1所述的真空箱氦气检测装置，其特征在于，所述连接柱与所述底板内部的孔相连接，所述底板内部的孔与所述支撑座内部的堵头和隔套相连接。
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